Tantalum Carbide Coating Graphite Plate

The Tantalum Carbide Coating Graphite Plate by Semicera is engineered for high-performance applications in silicon carbide epitaxy and crystal growth. This plate offers exceptional stability in high-temperature, corrosive, and high-pressure environments. Ideal for use in advanced reactors and furnace structures, it enhances system performance and longevity. Semicera ensures superior quality and reliability with cutting-edge coating technology for demanding engineering needs.

Tantalum carbide coated graphite sheet is a graphite material with a thin layer of carburo de tántalo on the surface of the substrate. The thin layer of tantalum carbide is usually formed on the surface of the graphite substrate by techniques such as physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD). This coating has excellent properties such as high hardness, excellent wear resistance, corrosion resistance and high temperature stability.

 

Semicera proporciona recubrimientos especializados de carburo tantalum (TAC) para varios componentes y portadores. El proceso de recubrimiento principal de semicera permite que los recubrimientos de carburo tantálio (TAC) logren una alta pureza, estabilidad de alta temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GaN y las capas EPI (Susceptor TAC recubierto de grafito), y extendiendo la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento TAC TAC Tantalum es resolver el problema del borde y mejorar la calidad del crecimiento de los cristales, y las semicera han resuelto la tecnología de recubrimiento de carburo Tantalum (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.

 

Después de años de desarrollo, Semicera ha conquistado la tecnología de CVD TAC con los esfuerzos conjuntos del departamento de I + D. Los defectos son fáciles de ocurrir en el proceso de crecimiento de las obleas SIC, pero después de usar TAC, la diferencia es significativa. A continuación se muestra una comparación de las obleas con y sin TAC, así como las partes de Simicera para el crecimiento de un solo cristal.

The main advantages of tantalum carbide coated graphite sheet include:

1. High temperature resistance: Tantalum carbide has a high melting point and excellent high temperature stability, making the coated graphite sheet suitable for use in high temperature environments.

2. Corrosion resistance: Tantalum carbide coating can resist the erosion of many chemical corrosive substances and extend the service life of the material.

3. High hardness: The high hardness of the tantalum carbide thin layer provides good wear resistance and is suitable for applications requiring high wear resistance.

4. Chemical stability: Tantalum carbide coating has excellent stability to chemical corrosion and is suitable for use in some corrosive media.

 

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con y sin tac

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Después de usar TAC (derecha)

Además, Semicera's Productos recubiertos de TAC exhibir una vida útil más larga y una mayor resistencia a alta temperatura en comparación con Recubrimientos sic. Las mediciones de laboratorio han demostrado que nuestro Recubrimientos TAC puede realizar constantemente a temperaturas de hasta 2300 grados Celsius durante períodos prolongados. A continuación hay algunos ejemplos de nuestras muestras:

 

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Lugar de trabajo de semicera

Semicera Work Place 2

Máquina de equipos

Casa de Ware de Semicera

Procesamiento de CNN, limpieza química, recubrimiento de CVD

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