Semicera’s High Purity Porous Tantalum Carbide Coated Barrel is specifically designed for silicon carbide (SiC) crystal growth furnaces. Featuring a high-purity tantalum carbide coating and a porous structure, this barrel provides exceptional thermal stability and resistance to chemical corrosion. Semicera’s advanced coating technology ensures long-lasting performance and efficiency in SiC crystal growth processes, making it an ideal choice for demanding semiconductor applications.
Porous tantalum carbide coated barrel is tantalum carbide as the main coating material, tantalum carbide has excellent corrosion resistance, wear resistance and high temperature stability. It can effectively protect the base material from chemical erosion and high temperature atmosphere. The base material usually has the characteristics of high temperature resistance and corrosion resistance. It can provide good mechanical strength and chemical stability, and at the same time serve as the supporting basis of the tantalum carbide coating.
Semicera proporciona recubrimientos especializados de carburo tantalum (TAC) para varios componentes y portadores. El proceso de recubrimiento principal de semicera permite que los recubrimientos de carburo tantálio (TAC) logren una alta pureza, estabilidad de alta temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GaN y las capas EPI (Susceptor TAC recubierto de grafito), y extendiendo la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento TAC TAC Tantalum es resolver el problema del borde y mejorar la calidad del crecimiento de los cristales, y las semicera han resuelto la tecnología de recubrimiento de carburo Tantalum (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.
Después de años de desarrollo, Semicera ha conquistado la tecnología de CVD TAC con los esfuerzos conjuntos del departamento de I + D. Los defectos son fáciles de ocurrir en el proceso de crecimiento de las obleas SIC, pero después de usar TAC, la diferencia es significativa. A continuación se muestra una comparación de las obleas con y sin TAC, así como las partes de Simicera para el crecimiento de un solo cristal.
Además, Semicera's Productos recubiertos de TAC exhibir una vida útil más larga y una mayor resistencia a alta temperatura en comparación con Recubrimientos sic. Las mediciones de laboratorio han demostrado que nuestro Recubrimientos TAC puede realizar constantemente a temperaturas de hasta 2300 grados Celsius durante períodos prolongados. A continuación hay algunos ejemplos de nuestras muestras:
