El carburo de silicio (SIC) es un material clave en la tercera generación de semiconductores, pero su tasa de rendimiento ha sido un factor limitante para el crecimiento de la industria. Después de extensas pruebas en los laboratorios de Semicera, se ha encontrado que el TAC rociado y sinterizado carece de la pureza y uniformidad necesarias. En contraste, el proceso de CVD garantiza un nivel de pureza de 5 ppm y una excelente uniformidad. El uso de CVD TAC mejora significativamente la tasa de rendimiento de las obleas de carburo de silicio. Agradecemos a DiscussionStantalum Carbide CVD Guía de recubrimiento Ringto para reducir aún más los costos de las obleas SIC.
Semicera proporciona recubrimientos especializados de carburo tantalum (TAC) para varios componentes y portadores. El proceso de recubrimiento principal de semicera permite que los recubrimientos de carburo tantálio (TAC) logren una alta pureza, estabilidad de alta temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GaN y las capas EPI (Susceptor TAC recubierto de grafito), y extendiendo la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento TAC TAC Tantalum es resolver el problema del borde y mejorar la calidad del crecimiento de los cristales, y las semicera han resuelto la tecnología de recubrimiento de carburo Tantalum (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.
El carburo de silicio (SIC) es un material clave en la tercera generación de semiconductores, pero su tasa de rendimiento ha sido un factor limitante para el crecimiento de la industria. Después de extensas pruebas en los laboratorios de Semicera, se ha encontrado que el TAC rociado y sinterizado carece de la pureza y uniformidad necesarias. En contraste, el proceso de CVD garantiza un nivel de pureza de 5 ppm y una excelente uniformidad. El uso de CVD TAC mejora significativamente la tasa de rendimiento de las obleas de carburo de silicio. Agradecemos las discusiones Anillo de guía de recubrimiento CVD de carburo tantalum Para reducir aún más los costos de las obleas SIC.
Después de años de desarrollo, Semicera ha conquistado la tecnología de CVD TAC con los esfuerzos conjuntos del departamento de I + D. Los defectos son fáciles de ocurrir en el proceso de crecimiento de las obleas SIC, pero después de usar TAC, la diferencia es significativa. A continuación se muestra una comparación de las obleas con y sin TAC, así como las partes de Simicera para el crecimiento de un solo cristal.
Además, Semicera's Productos recubiertos de TAC exhibir una vida útil más larga y una mayor resistencia a alta temperatura en comparación con Recubrimientos sic. Las mediciones de laboratorio han demostrado que nuestro Recubrimientos TAC puede realizar constantemente a temperaturas de hasta 2300 grados Celsius durante períodos prolongados. A continuación hay algunos ejemplos de nuestras muestras:
