19 pieces of 2 inch graphite base MOCVD equipment parts

● Product introduction and use: Place 19 pieces of 2 inch substrate for the growth of blue-green epitaxial films in LED production
● Device location of the product: in the reaction chamber, in direct contact with the wafer
● Main downstream products : LED chips
● Main end market: LED

Descripción

 

 

 

 

 

Our company provides SiC coating process services by CVD method on the surface of graphite, ceramics and other materials, so that special gases containing carbon and silicon react at high temperature to obtain high purity SiC molecules, molecules deposited on the surface of the coated materials, forming SiC protective layer.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Características principales

 

 

 

 

 

1. Resistencia a la oxidación de alta temperatura:
La resistencia a la oxidación sigue siendo muy buena cuando la temperatura es tan alta como 1600 C.
2. Alta pureza: hecha por deposición de vapor químico en una condición de cloración de alta temperatura.
3. Resistencia a la erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
4. Resistencia a la corrosión: ácido, álcali, sal y reactivos orgánicos.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Especificaciones principales de recubrimiento CVD-SIC

 

 

 

 

 

Propiedades de SIC-CVD
Estructura cristalina FCC β phase
Densidad g/cm ³ 3.21
Dureza Dureza de Vickers 2500
Tamaño de grano μm 2~10
Pureza química % 99.99995
Capacidad de calor J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura de sublimación 2700
Fuerza del felexural MPa  (RT 4-point) 415
Young’ s Modulus GPA (4pt Bend, 1300 ℃) 430
Expansión térmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conductividad térmica (W/mk) 300

 

 

 

 

 

19 pieces of 2 inch graphite base MOCVD equipment parts

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 Equipment

 

 

 

 

 

about

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Lugar de trabajo de semicera

 

 

 

Semicera Work Place 2

 

 

 

Máquina de equipos

 

 

 

Procesamiento de CNN, limpieza química, recubrimiento de CVD

 

 

 

Casa de Ware de Semicera

 

 

 

Nuestro servicio

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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