36 pieces of 4 inches graphite base MOCVD equipment parts

● Product introduction and use: Placing 36 pieces of 4 inch substrate, used for the growth of blue-green epitaxial films in LED production
● Device location of the product: in the reaction chamber, in direct contact with the wafer
● Main downstream products: LED chips
● Main end market: LED

Descripción

 

 

 

 

 

Nuestra compañía proporciona servicios de procesos de recubrimiento SIC mediante el método de CVD en la superficie del grafito, la cerámica y otros materiales, de modo que los gases especiales que contienen carbono y silicio reaccionan a alta temperatura para obtener moléculas SiC de alta pureza, moléculas depositadas en la superficie de los materiales recubiertos, formando una capa protectora SIC.

 

 

 

 

 

 

Graphite base--36

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Características principales

 

 

 

 

 

1. Resistencia a la oxidación de alta temperatura:
La resistencia a la oxidación sigue siendo muy buena cuando la temperatura es tan alta como 1600 C.
2. Alta pureza: hecha por deposición de vapor químico en una condición de cloración de alta temperatura.
3. Resistencia a la erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
4. Resistencia a la corrosión: ácido, álcali, sal y reactivos orgánicos.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Especificaciones principales de recubrimiento CVD-SIC

 

 

 

 

 

Propiedades de SIC-CVD
Estructura cristalina FCC β phase
Densidad g/cm ³ 3.21
Dureza Dureza de Vickers 2500
Tamaño de grano μm 2~10
Pureza química % 99.99995
Capacidad de calor J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura de sublimación 2700
Fuerza del felexural MPa  (RT 4-point) 415
Young’ s Modulus GPA (4pt Bend, 1300 ℃) 430
Expansión térmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conductividad térmica (W/mk) 300

 

 

 

 

 

 

 

 

Lugar de trabajo de semicera

 

 

 

Semicera Work Place 2

 

 

 

Máquina de equipos

 

 

 

Procesamiento de CNN, limpieza química, recubrimiento de CVD

 

 

 

Casa de Ware de Semicera

 

 

 

Nuestro servicio

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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