41 piezas de equipo MOCVD con base de grafito de 4 pulgadas

● Introducción y uso del producto: Se colocaron 41 piezas de sustrato de 4 pulgadas, utilizadas para el crecimiento de películas epitaxiales azul-verdes en la producción de LED.
● Ubicación del dispositivo del producto: en la cámara de reacción, en contacto directo con la oblea.
● Principales productos derivados: chips LED
● Principal mercado final: LED

Descripción

 

 

 

 

 

Nuestra empresa brinda servicios de proceso de recubrimiento de SiC mediante el método CVD en la superficie de grafito, cerámica y otros materiales, de modo que gases especiales que contienen carbono y silicio reaccionan a alta temperatura para obtener moléculas de SiC de alta pureza, moléculas que se depositan en la superficie de los materiales recubiertos, formando una capa protectora de SiC.

 

 

 

 

 

 

41 piezas de equipo MOCVD con base de grafito de 4 pulgadas

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Características principales

 

 

 

 

 

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas.:
la resistencia a la oxidación sigue siendo muy buena cuando la temperatura alcanza los 1600 ℃.
2. Alta pureza: elaborado mediante deposición química de vapor en condiciones de cloración a alta temperatura.
3. Resistencia a la erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
4. Resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sal y reactivos orgánicos.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC

 

 

 

 

 

Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina Fase β de la FCC
Densidad gramos/cm³ 3.21
Dureza Dureza Vickers 2500
Tamaño de grano milímetros 2~10
Pureza química % 99.99995
Capacidad calorífica J·kg-1·K-1 640
Temperatura de sublimación 2700
Fuerza flexural MPa (RT 4 puntos) 415
Módulo de Young Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃) 430
Expansión Térmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conductividad térmica (W/mK) 300

 

 

 

 

 

 

 

 

Lugar de trabajo Semicera

 

 

 

Lugar de trabajo semicera 2

 

 

 

maquina de equipo

 

 

 

Procesamiento CNN, limpieza química, recubrimiento CVD

 

 

 

Casa de artículos de semicera

 

 

 

Nuestro servicio

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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