Sistema avanzado de corte por láser LMJ para procesamiento de obleas semiconductoras

La tecnología de corte por láser microjet de Scmicera ha logrado cortar, rebanar y cortar en cubitos lingotes de carburo de silicio de 6 pulgadas y también es compatible con el procesamiento de cristal de 8 pulgadas. Permite un procesamiento de alta eficiencia, alta calidad, bajo daño y alto rendimiento de sustratos de silicio monocristalino, al tiempo que reduce significativamente los costos generales de producción.

MICROJET LÁSER (LMJ)

Descripción

La tecnología Laser MicroJet (LMJ) combina un rayo láser enfocado en un microchorro de agua estable y de alta velocidad. El láser es guiado dentro de la columna de agua a través de una reflexión interna total en la interfaz agua-aire, formando un haz de energía con una distribución transversal uniforme. Este mecanismo permite una eliminación de material de alta precisión en condiciones de direccionalidad controlada, alta densidad de energía y enfriamiento de la superficie en tiempo real.

La tecnología proporciona un ancho de corte extremadamente estrecho, alta precisión de procesamiento y mínimo impacto térmico, lo que la hace ideal para el mecanizado integrado y eficiente de materiales duros y quebradizos.

Equipo de procesamiento láser Microjet-2-3

Principio de funcionamiento

La tecnología LMJ utiliza la diferencia en los índices de refracción óptica entre el agua y el aire. Los pulsos del láser se reflejan completamente dentro del chorro de agua de alta pureza, lo que permite que el haz se propague de manera estable similar a la transmisión de fibra óptica.

Una vez acoplado al chorro de agua, el láser viaja sin ser molestado dentro de la columna, completamente protegido de influencias ambientales externas como polvo, plasma o turbulencias de aire.

VENTAJAS DEL MICROJET LÁSER

  • Rayo láser cilíndrico (colimado)
    El láser se introduce como un haz paralelo estable en el chorro de agua, lo que garantiza una distribución constante de la energía.
  • Guía de haz similar a una fibra
    Los pulsos láser se transmiten dentro del chorro de agua, completamente protegidos de las perturbaciones ambientales durante todo el proceso.
  • No se requiere reenfoque continuo
    El foco láser está fijo dentro del sistema LMJ. No es necesario ajustar la posición focal a medida que cambia la profundidad de mecanizado.
  • Zona afectada por calor ultrabajo (HAZ)
    Después de cada pulso, la pieza de trabajo permanece en estado de enfriamiento durante aproximadamente el 99% del ciclo de procesamiento. Esta refrigeración por agua en tiempo real elimina eficazmente el daño térmico y las capas refundidas mientras mantiene una alta eficiencia de procesamiento.
  • Efecto de limpieza continua de superficies.
    El chorro de agua elimina continuamente residuos y partículas de la zona de mecanizado, asegurando una trayectoria de corte limpia.

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En el corte por láser tradicional, la acumulación de energía y la conducción de calor a lo largo de la trayectoria de corte son las principales causas de daño térmico en ambos lados de la ranura. Por el contrario, la tecnología LMJ elimina rápidamente el calor residual después de cada pulso a través del chorro de agua, evitando la acumulación térmica en la pieza de trabajo y dando como resultado un filo limpio y preciso.

Trazado de dispositivos

Cuando se corta con láser tradicional, la acumulación y conducción de energía es la principal causa de daño térmico en ambos lados de la ruta de corte, y el láser de microchorro, debido al papel de la columna de agua, eliminará rápidamente el calor residual de cada pulso y no se acumulará en la pieza de trabajo, por lo que la ruta de corte estará limpia. Para el método tradicional de “corte oculto” + “división”, reduzca la tecnología de procesamiento.

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