Ventosa de cerámica de alúmina semiconductora es un mandril de vacío de alta precisión fabricado con cerámica de alúmina (Al₂O₃) de alta pureza. Proporciona una sujeción estable de las obleas mediante adsorción al vacío, ofreciendo un excelente aislamiento eléctrico, alta resistencia mecánica y resistencia superior a las altas temperaturas, el desgaste y la corrosión. Se utiliza ampliamente en equipos de procesamiento de semiconductores para un manejo preciso, limpio y confiable de obleas.
Las cerámicas de alúmina (Al₂O₃) son cerámicas de ingeniería avanzada conocidas por su excepcional dureza, resistencia al desgaste y propiedades livianas. Con una dureza Rockwell de HRA 80–90, ofrecen una dureza sólo superada por el diamante y muy superior a la de los aceros resistentes al desgaste y los aceros inoxidables. La resistencia al desgaste de Semcioera es excepcionalmente alta: hasta 266 veces la del acero al manganeso y 171.5 veces mayor que el hierro fundido con alto contenido de cromo, lo que extiende significativamente la vida útil del equipo en condiciones de trabajo idénticas. Además, con una baja densidad de aproximadamente 3,5 g/cm³ (aproximadamente la mitad que el acero), las cerámicas de alúmina de Semicera ayudan a reducir el peso y la carga general del equipo, lo que las hace ideales para aplicaciones estructurales de alto rendimiento y resistentes al desgaste.
Ventosa de cerámica de alúmina semiconductora presenta un rendimiento excelente para el manejo de obleas en procesos de semiconductores de alta gama:
Alta limpieza
Baja generación de partículas, adecuado para entornos de salas blancas Clase 1 / Clase 10.
Alta dureza y resistencia al desgaste
Previene el rayado de las obleas y garantiza una larga vida útil.
Resistencia a altas temperaturas
Aplicable en procesos de alta temperatura como CVD, PVD y grabado.
Excelente estabilidad química
Resistente a ácidos y álcalis, y no introduce contaminación en el proceso.
Buena estabilidad dimensional
La baja expansión térmica garantiza una alta precisión de alineación y precisión del proceso.
Industria de aplicaciones: Maquinaria, electrónica, química, petróleo y otros campos industriales.
Aplicaciones específicas: Sustratos cerámicos eléctricos, émbolos, anillos de sellado, componentes resistentes al desgaste, piezas aislantes y componentes estructurales resistentes a la corrosión.
