En el proceso de fabricación de circuitos integrados de semiconductores, a menudo es necesario utilizar una herramienta para la transferencia, limpieza y procesamiento del chip, la herramienta que transporta el chip generalmente se denomina bote de oblea, el cual estará provisto de varias ranuras para oblea, cada ranura para oblea se utiliza para colocar una oblea. En el proceso de fabricación de obleas semiconductoras, el proceso de difusión del tubo del horno es uno de los procesos básicos. En el proceso de difusión, primero se colocan varias obleas en un recipiente de cristal de cuarzo y luego el recipiente de cristal de cuarzo se coloca en el tubo del horno para la fabricación por lotes.
