Semicera Semiconductor is a leading supplier specializing in wafer and advanced semiconductor consumables. We are dedicated to providing high-quality, reliable, and innovative products to semiconductor manufacturing, photovoltaic industry and other related fields.Our product line includes SiC/TaC coated graphite products and ceramic products, encompassing various materials such as silicon carbide, silicon nitride, and aluminum oxide and etc.As a trusted supplier, we understand the importance of consumables in the manufacturing process, and we are committed to delivering products that meet the highest quality standards to fulfill our customers’ needs.
Tubos de horno de carburo de silicio (SIC): solución avanzada para las industrias fotovoltaicas y semiconductores
Silicon carbide (SiC) furnace tubes are critical components in the photovoltaic and semiconductor industries. Traditional quartz furnace tubes are effective up to 800°C, but when used in oxidation diffusion processes that exceed 1000°C, their lifespan dramatically decreases. This results in stress, deformation, and contamination of the wafers due to impurities leaching from the quartz tube.
En contraste, los tubos de horno sic proporcionan un rendimiento superior y longevidad, con numerosos beneficios:
-Estabilidad excepcional de alta temperatura: SiC furnace tubes can withstand temperatures up to 1700°C in air, and up to 1950°C in inert gases like nitrogen or argon, far outlasting quartz tubes in high-temperature applications.
-Rendimiento de expansión térmica superior: SIC tiene un coeficiente de expansión térmica que coincide estrechamente con el del silicio amorfo, reduciendo significativamente el riesgo de grietas o roturas debido a la expansión térmica, que es común con los tubos de cuarzo.
-Materiales de alta pureza: Semicera ofrece tubos sic con 99.99% pureza, junto con Recubrimientos SIC CVD con 99.99998% pureza. Esto garantiza la protección de la oblea de las impurezas, eliminando los problemas de contaminación durante los procesos de alta temperatura.
-Excelente corrosión y resistencia al desgaste: Los tubos SIC exhiben una excelente resistencia a la corrosión y al desgaste a altas temperaturas, evitando la posible contaminación y degradación a menudo asociadas con los tubos de cuarzo.
-Excelente resistencia al choque térmico: Con una alta conductividad térmica y una notable resistencia al choque térmico, los tubos de horno SiC pueden manejar cambios rápidos de temperatura, lo que los hace muy duraderos en procesos industriales dinámicos.
Semicera’s SiC furnace tubes are widely used as replacements for quartz tubes in vertical oxidation furnaces, diffusion furnaces, and RTP equipment. Our products have been successfully operating in multiple client facilities since 2018, demonstrating their exceptional performance and reliability.
Además, Semicera proporciona productos SIC de alta pureza coincidentes que incluyen Barcos de sic, Tubos sic, Paletas sic, y Recubrimientos SIC CVD para satisfacer las diversas necesidades de procesos de alta temperatura.
–Vida más larga y mejor rendimiento En condiciones extremas en comparación con los tubos de horno de cuarzo.
–Contaminación de impureza reducida debido a los materiales de alta pureza.
–Alta estabilidad térmica, incluso bajo temperaturas fluctuantes.
–Rendimiento confiable y probado en industrias como la fabricación de semiconductores y la producción fotovoltaica.
Choose Semicera’s SiC furnace tubes for enhanced durability, reduced maintenance, and superior results in your high-temperature applications.
