Elementos calefactores para sustrato MOCVD

Los elementos calefactores de Semicera para sustrato MOCVD están diseñados para proporcionar un control de temperatura preciso y estable en procesos de deposición química de vapor metal-orgánico (MOCVD). Fabricados con grafito de alta calidad, estos elementos calefactores ofrecen una conductividad térmica excepcional, un calentamiento uniforme y confiabilidad a largo plazo. Ideales para la fabricación de semiconductores, la producción de LED y aplicaciones de materiales avanzados, los elementos calefactores de Semicera garantizan un rendimiento constante, optimizando su proceso de sustrato MOCVD para una máxima eficiencia y calidad.

Características principales del calentador de grafito.:

1. uniformidad de la estructura de calefacción.

2. buena conductividad eléctrica y alta carga eléctrica.

3. resistencia a la corrosión.

4. inoxidabilidad.

5. alta pureza química.

6. alta resistencia mecánica.

La ventaja es la eficiencia energética, el alto valor y el bajo mantenimiento. Podemos producir crisoles de grafito antioxidantes y de larga duración, moldes de grafito y todas las partes del calentador de grafito.

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Principales parámetros del calentador de grafito.

Especificación técnica

Semicera-M3

Densidad aparente (g/cm3)

≥1.85

Contenido de cenizas (PPM)

≤500

Dureza Shore

≥45

Resistencia específica (μ.Ω.m)

≤12

Resistencia a la flexión (Mpa)

≥40

Resistencia a la compresión (Mpa)

≥70

Máx. Tamaño de grano (μm)

≤43

Coeficiente de Expansión Térmica Mm/°C

≤4.4*10-6

Calentador de sustrato MOCVD_ Elementos calefactores para MOCVD

Lugar de trabajo Semicera

Lugar de trabajo semicera 2

maquina de equipo

Procesamiento CNN, limpieza química, recubrimiento CVD

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