semicera es un proveedor especializado en consumibles semiconductores avanzados y relacionados con obleas. Estamos comprometidos a proporcionar productos innovadores, confiables y de alta calidad para la fabricación de semiconductores, la industria fotovoltaica y otros campos relacionados de alta tecnología.
Nuestro portafolio de productos incluye Recubierto de SiC/TaC componentes de grafito y cerámica técnica avanzada, cubriendo materiales como carburo de silicio (SiC), nitruro de silicio (Si₃N₄) y óxido de aluminio (Al₂O₃) , entre otros.
Como proveedor confiable en la industria, Semicera comprende el papel fundamental de los consumibles en los procesos de producción de semiconductores. Semicera se dedica a ofrecer productos que cumplan con estrictos estándares de calidad y respalden el rendimiento, la estabilidad y la eficiencia necesarios en entornos de fabricación avanzados.
Nuestra empresa proporciona Recubrimiento CVD SiC Servicios en la superficie de grafito, cerámica y otros materiales de sustrato avanzados. Durante el proceso, los gases precursores que contienen silicio y carbono reaccionan a altas temperaturas para generar carburo de silicio (SiC) de alta pureza, que se deposita sobre la superficie del sustrato para formar una capa protectora de SiC densa, uniforme y fuertemente unida.
Este recubrimiento mejora significativamente las propiedades de la superficie del material base, mejorando su rendimiento en entornos de proceso de alta temperatura, corrosivos y de alta pureza.
1. Resistencia a la oxidación a alta temperatura
Rendimiento estable en condiciones de alta temperatura hasta 1600°C en atmósferas inertes o controladas, evitando eficazmente la oxidación del sustrato.
2. Alta pureza
Producido por deposición química de vapor (CVD) en condiciones de cloración a alta temperatura, lo que garantiza una pureza ultra alta e idoneidad para aplicaciones de grado semiconductor.
3. Resistencia a la erosión y al desgaste.
La alta dureza y la microestructura densa proporcionan una excelente resistencia a la erosión de partículas, el desgaste mecánico y el ataque de los gases de proceso.
4. Resistencia a la corrosión química
Excelente resistencia a ácidos, álcalis, sales y una amplia gama de reactivos químicos orgánicos, lo que garantiza una estabilidad a largo plazo en entornos hostiles.
5. Estructura de revestimiento densa y uniforme.
Superficie sin poros con fuerte adhesión al sustrato, minimizando la generación de partículas y el riesgo de contaminación.
6. Larga vida útil
Extiende eficazmente la vida útil de los componentes cerámicos y de grafito en procesos industriales de alta temperatura.
| Propiedades de SiC-CVD | ||
| Estructura cristalina | Fase β de la FCC | |
| Densidad | gramos/cm³ | 3.21 |
| Dureza | Dureza Vickers | 2500 |
| Tamaño de grano | milímetros | 2~10 |
| Pureza química | % | 99.99995 |
| Capacidad calorífica | J·kg-1·K-1 | 640 |
| Temperatura de sublimación | ℃ | 2700 |
| Fuerza flexural | MPa (RT 4 puntos) | 415 |
| módulo de Young | Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃) | 430 |
| Expansión Térmica (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Conductividad térmica | (W/mK) | 300 |
