Semicera es un proveedor profesional de componentes cerámicos avanzados para semiconductores y aplicaciones industriales de alta temperatura. Nuestro Barco de oblea de carburo de silicio recristalizado (R-SiC) de gran tamaño está diseñado para carga y transporte estable de obleas en procesos de difusión, oxidación y hornos LPCVD.
Fabricado con carburo de silicio recristalizado de alta pureza, ofrece una excelente estabilidad térmica, alta resistencia, resistencia a la corrosión y una larga vida útil, lo que lo hace adecuado para entornos exigentes de alta temperatura en la fabricación de semiconductores.
Semiceras Carburo de silicio recristalizado (R-SiC) Es un material cerámico de alto rendimiento formado mediante un tratamiento a alta temperatura por encima 2000°C . Conserva las ventajas clave del carburo de silicio, incluida una excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la oxidación y resistencia al choque térmico.
Gracias a su estructura estable y a su proceso de sinterización sin contracción, el R-SiC se puede fabricar en componentes complejos y de alta precisión con una larga vida útil y un rendimiento confiable en entornos de trabajo hostiles.
Semicera R-SiC se utiliza ampliamente en piezas de hornos semiconductores, como obleas, susceptores y estructuras portadoras, así como en otras aplicaciones industriales de alta temperatura.
R-SiC Es un material cerámico de alto rendimiento elaborado mediante tratamiento a alta temperatura por encima de 2000°C. Mantiene la mayoría de las excelentes propiedades del carburo de silicio, como resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la oxidación y buena resistencia al choque térmico.
1. Buena resistencia mecánica
R-SiC tiene alta resistencia y rigidez y puede mantener un rendimiento estable incluso en condiciones de trabajo duras y de alta temperatura. También tiene buena resistencia al impacto y no es fácil de romper o deformar durante el uso.
2. Fuerte resistencia a la corrosión
Puede resistir la mayoría de los ácidos, álcalis y gases corrosivos. Incluso en un uso prolongado en entornos químicos hostiles, aún puede mantener un rendimiento estable y no se daña fácilmente.
3. Excelente estabilidad térmica
El R-SiC puede soportar cambios rápidos de temperatura sin agrietarse. Funciona bien en procesos de alta temperatura y ciclos repetidos de calentamiento y enfriamiento.
4. Sin contracción durante la sinterización
Durante el proceso de recristalización, el material no se encoge, por lo que casi no hay tensión interna. Esto ayuda a prevenir deformaciones o grietas y permite la producción de piezas complejas y de alta precisión.
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Material |
R-SiC |
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Temperatura de trabajo ( ° DO) |
1600°C ( Ambiente oxidante) 1700°C ( Ambiente reductor) |
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Contenido de SiC (%) |
> 99 |
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Contenido de Si libre (%) |
< 0.1 |
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Densidad aparente (g/cm3) |
2.60-2.70 |
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Porosidad aparente (%) |
< 16 |
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Fuerza de aplastamiento (MPa) |
> 600 |
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Resistencia a la flexión en frío (MPa) |
80-90 (20°C) |
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Resistencia a la flexión en caliente (MPa) |
90-100 (1400°C) |
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Coeficiente de expansión térmica @1500°C (10-6/°C) |
4.70 |
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Conductividad térmica @1200 ° C (W/m • k) |
23 |
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Módulo elástico (GPa) |
240 |
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Resistencia al choque térmico |
Extremadamente bueno |
