El susceptor portador de oblea de grafito recubierto de SiC CVD de alta pureza de Semicera está diseñado para procesos semiconductores de alta temperatura como MOCVD, CVD y crecimiento epitaxial. Se fabrica utilizando grafito de alta pureza como material base, con un revestimiento denso de carburo de silicio (SiC) depositado mediante deposición química de vapor (CVD).
El recubrimiento de SiC proporciona una excelente protección contra la oxidación, la corrosión química y la contaminación por partículas, lo que mejora significativamente la vida útil y la estabilidad del proceso en entornos térmicos hostiles.
Este producto garantiza un soporte estable de oblea, una transferencia de calor uniforme y una integridad estructural a alta temperatura, lo que lo hace adecuado para procesos avanzados de fabricación de semiconductores y LED.
Las cerámicas de carburo de silicio (SiC) exhiben excelentes propiedades mecánicas a temperatura ambiente, que incluyen alta resistencia, alta dureza y un alto módulo elástico. También proporcionan un excelente rendimiento a altas temperaturas, como alta conductividad térmica, bajo coeficiente de expansión térmica y excelente rigidez específica, junto con una buena maquinabilidad para aplicaciones ópticas y estructurales de precisión.
Debido a esta combinación única de propiedades, las cerámicas de SiC son particularmente adecuadas para componentes de precisión utilizados en equipos de fabricación de circuitos integrados, incluidos los sistemas de litografía. Las aplicaciones típicas incluyen portadores/susceptores de SiC, botes de oblea, platos de vacío, placas de refrigeración por agua, espejos ópticos de precisión, rejillas y otras piezas estructurales cerámicas de alta precisión utilizadas en equipos de procesamiento de semiconductores.
Semicera puede proporcionar a los clientes portadores de obleas personalizados de materiales de silicio y carburo de silicio para satisfacer diferentes aplicaciones.
| Propiedad | Valor |
| Densidad | 3,21 g/cc |
| Calor específico | 0,66 J/g°K |
| Resistencia a la flexión | 450MPa560MPa |
| Dureza a la fractura | 2,94 MPa·m1/2 |
| Dureza | 2800 |
| Módulo elástico Módulo de Young | 450 GPa430 GPa |
| Tamaño de grano | 2 – 10 micras |
Semicera Semiconductor es un proveedor de componentes cerámicos semiconductores avanzados, que proporciona materiales de alto rendimiento y piezas de precisión para aplicaciones semiconductoras y fotovoltaicas. La empresa tiene capacidades en cerámicas de carburo de silicio de alta pureza, incluido el carburo de silicio recristalizado (R-SiC), así como recubrimientos de carburo de silicio (SiC) CVD.
Además, Semicera también trabaja con una gama de cerámicas técnicas avanzadas, como alúmina (Al₂O₃), nitruro de aluminio (AlN), circonia (ZrO₂) y nitruro de silicio (Si₃N₄), para cumplir con diversos requisitos de aplicaciones.
Nuestros principales productos incluyen discos de grabado de carburo de silicio, soportes para botes de carburo de silicio, botes de obleas de carburo de silicio (para procesos fotovoltaicos y de semiconductores), tubos para hornos de carburo de silicio, paletas voladizas de carburo de silicio, mandriles de carburo de silicio, vigas de carburo de silicio, así como recubrimientos CVD de SiC y recubrimientos de TaC.
Estos productos se utilizan ampliamente en la fabricación de semiconductores y fotovoltaica, incluido el crecimiento de cristales, la deposición epitaxial, el grabado, el embalaje, los procesos de recubrimiento y los sistemas de hornos de difusión.
