Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. es un proveedor líder especializado en obleas y consumibles semiconductores avanzados. Estamos dedicados a proporcionar productos innovadores, confiables y de alta calidad para la fabricación de semiconductores, la industria fotovoltaica y otros campos relacionados. Nuestra línea de productos incluye productos cerámicos y de grafito recubiertos de SiC/TaC, que abarcan diversos materiales como carburo de silicio, nitruro de silicio y óxido de aluminio, etc. Como proveedor confiable, entendemos la importancia de los consumibles en el proceso de fabricación y estamos comprometidos a entregar Productos que cumplen con los más altos estándares de calidad para satisfacer las necesidades de nuestros clientes.
Semicera presenta paletas voladizas de carburo de silicio personalizadas de alta calidad diseñadas para mejorar los procesos de fabricación de semiconductores. El innovador diseño de la paleta de SiC garantiza una durabilidad excepcional y una alta resistencia térmica, lo que la convierte en un componente esencial para la manipulación de obleas en entornos desafiantes de alta temperatura.
La paleta de carburo de silicio está diseñada para resistir ciclos térmicos extremos y al mismo tiempo mantener la integridad estructural, lo que garantiza un transporte confiable de obleas durante las fases críticas de la producción de semiconductores. Con una resistencia mecánica superior, este bote para obleas minimiza el riesgo de dañar las obleas, lo que genera mayores rendimientos y una calidad de producción constante.
Una de las innovaciones clave en la paleta de SiC de Semicera reside en sus opciones de diseño personalizado. Diseñada para satisfacer necesidades de producción específicas, la paleta ofrece flexibilidad en la integración con diversas configuraciones de equipos, lo que la convierte en una solución ideal para los procesos de fabricación modernos. La construcción liviana pero robusta permite un fácil manejo y reduce el tiempo de inactividad operativa, lo que contribuye a mejorar la eficiencia en la producción de semiconductores.
Además de sus propiedades térmicas y mecánicas, la paleta de carburo de silicio ofrece una excelente resistencia química, lo que le permite funcionar de manera confiable incluso en entornos químicos hostiles. Esto lo hace particularmente adecuado para su uso en procesos que involucran grabado, deposición y tratamiento a alta temperatura, donde mantener la integridad de la oblea es crucial para garantizar resultados de alta calidad.
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Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado |
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Propiedad |
Valor típico |
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Temperatura de trabajo (°C) |
1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor) |
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Contenido de SiC |
> 99.96% |
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Contenido gratuito de Si |
< 0.1% |
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densidad aparente |
2,60-2,70 g/cm 3 |
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Porosidad aparente |
< 16% |
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Fuerza de compresión |
> 600MPa |
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Resistencia a la flexión en frío |
80-90 MPa (20°C) |
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Resistencia a la flexión en caliente |
90-100MPa (1400°C) |
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Expansión térmica @1500°C |
4.70 10 -6 /°C |
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Conductividad térmica @1200°C |
23 W/m·K |
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módulo elástico |
240 GPa |
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Resistencia al choque térmico |
Extremadamente bueno |
