Los calentadores de sustrato y elementos calefactores MOCVD de Semicera están diseñados para cumplir con los exigentes requisitos de los procesos de epitaxia de semiconductores. Diseñados para su uso en sistemas MOCVD, estos componentes brindan una distribución uniforme del calor, un control preciso de la temperatura y una excelente estabilidad térmica, lo que ayuda a mantener condiciones de crecimiento consistentes en toda la superficie de la oblea.
Fabricadas con materiales de alta calidad y optimizadas para funcionamiento a alta temperatura, las soluciones de calefacción de Semicera ofrecen un rendimiento confiable, una larga vida útil y una gestión térmica eficiente. Se utilizan ampliamente en la producción de dispositivos semiconductores, electrónica de potencia y obleas epitaxiales LED, lo que permite mejorar la consistencia del proceso y la eficiencia general de fabricación.
Calentador de sustrato MOCVD, elementos calefactores para MOCVD
Calentador de grafito:
Los componentes del calentador de grafito se utilizan en el horno de alta temperatura con una temperatura que alcanza los 2200 grados en un ambiente de vacío y 3000 grados en un ambiente de gas desoxidado e insertado.
1. Uniformidad de la estructura calefactora.
2. Buena conductividad eléctrica y alta carga eléctrica.
3. Resistencia a la corrosión.
4. Inoxidabilidad.
5. Alta pureza química.
6. Alta resistencia mecánica.
La ventaja es la eficiencia energética, el alto valor y el bajo mantenimiento.
Podemos producir crisoles de grafito antioxidantes y de larga duración, moldes de grafito y todas las partes del calentador de grafito.
Ventaja: resistencia a altas temperaturas
Aplicación: MOCVD/horno de vacío/zona caliente
Densidad aparente: 1.68-1.91g/cm3
Resistencia a la flexión: 30-46MPa
Resistividad: 7-12μΩm
| Especificación técnica | VET-M3 |
| Densidad aparente (g/cm3) | 1.68-1.91 |
| Contenido de cenizas (PPM) | ≤500 |
| Dureza Shore | ≥45 |
| Resistencia específica (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Resistencia a la flexión (Mpa) | ≥40 |
| Resistencia a la compresión (Mpa) | ≥70 |
| Máx. Tamaño de grano (μm) | ≤43 |
| Coeficiente de Expansión Térmica Mm/°C | ≤4.4*10-6 |
Los calentadores de grafito de Semicera para hornos eléctricos se fabrican con materiales de grafito de alta pureza y ofrecen excelente resistencia a altas temperaturas, estabilidad térmica, conductividad eléctrica y resistencia mecánica. Diseñados para entornos de procesamiento térmico exigentes, estos calentadores brindan una generación de calor eficiente y uniforme al mismo tiempo que mantienen un rendimiento confiable bajo funcionamiento prolongado a alta temperatura. Semicera puede fabricar una amplia gama de configuraciones de calentadores de grafito según los planos y especificaciones del cliente, admitiendo soluciones personalizadas para aplicaciones de semiconductores, fotovoltaicas, hornos de vacío y tratamiento térmico.
Semicera es un proveedor de cerámicas semiconductoras avanzadas y el único fabricante en China que puede proporcionar simultáneamente cerámica de carburo de silicio de alta pureza (especialmente SiC recristalizado) y recubrimiento CVD de SiC. Además, nuestra empresa también está comprometida con campos cerámicos como la alúmina, nitruro de aluminio, circonio y nitruro de silicio, etc.
Nuestros productos principales incluyen: disco de grabado de carburo de silicio, remolque de barco de carburo de silicio, barco de oblea de carburo de silicio (fotovoltaico y semiconductor), tubo de horno de carburo de silicio, paleta voladiza de carburo de silicio, mandriles de carburo de silicio, viga de carburo de silicio, así como el recubrimiento CVD SiC y el recubrimiento TaC. Los productos se utilizan principalmente en las industrias de semiconductores y fotovoltaica, como equipos para el crecimiento de cristales, epitaxia, grabado, embalaje, recubrimiento y hornos de difusión, etc.
Nuestra empresa cuenta con equipos de producción completos, como equipos de moldeo, sinterización, procesamiento, recubrimiento, etc., que pueden completar todos los eslabones necesarios de la producción del producto y tener una mayor controlabilidad de la calidad del producto; El plan de producción óptimo se puede seleccionar de acuerdo con las necesidades del producto, lo que resulta en menores costos y brinda a los clientes productos más competitivos; Podemos programar la producción de manera flexible y eficiente según los requisitos de entrega del pedido y en conjunto con sistemas de gestión de pedidos en línea, brindando a los clientes un tiempo de entrega más rápido y garantizado.
