Casete PFA

Cassette de PFA: experimente una resistencia química y una durabilidad inigualables con el casete de PFA de Semicera, la solución ideal para el manejo seguro y eficiente de obleas en la fabricación de semiconductores.

semicera se complace en ofrecer la Casete PFA , una opción premium para el manejo de obleas en entornos donde la resistencia química y la durabilidad son primordiales. Elaborado con material perfluoroalcoxi (PFA) de alta pureza, este casete está diseñado para soportar las condiciones más exigentes en la fabricación de semiconductores, lo que garantiza la seguridad y la integridad de sus obleas.

Resistencia química inigualable El Casete PFA está diseñado para proporcionar una resistencia superior a una amplia gama de productos químicos, lo que lo convierte en la opción perfecta para procesos que involucran ácidos agresivos, solventes y otros productos químicos agresivos. Esta robusta resistencia química garantiza que el casete permanezca intacto y funcional incluso en los ambientes más corrosivos, extendiendo así su vida útil y reduciendo la necesidad de reemplazos frecuentes.

Construcción de alta pureza Semiceras Casete PFA está fabricado con material PFA ultrapuro, que es fundamental para prevenir la contaminación durante el procesamiento de obleas. Esta construcción de alta pureza minimiza el riesgo de generación de partículas y lixiviación química, lo que garantiza que sus obleas estén protegidas de impurezas que podrían comprometer su calidad.

Mayor durabilidad y rendimiento Diseñado para mayor durabilidad, el Casete PFA mantiene su integridad estructural bajo temperaturas extremas y condiciones de procesamiento rigurosas. Ya sea expuesto a altas temperaturas o sometido a manipulación repetida, este casete conserva su forma y rendimiento, ofreciendo confiabilidad a largo plazo en entornos de fabricación exigentes.

Ingeniería de precisión para un manejo seguro El Casete Semicera PFA presenta una ingeniería precisa que garantiza un manejo seguro y estable de las obleas. Cada ranura está cuidadosamente diseñada para mantener las obleas en su lugar de forma segura, evitando cualquier movimiento o desplazamiento que pueda provocar daños. Esta ingeniería de precisión respalda la colocación consistente y precisa de las obleas, lo que contribuye a la eficiencia general del proceso.

Aplicación versátil en todos los procesos Gracias a sus propiedades materiales superiores, el Casete PFA es lo suficientemente versátil como para usarse en varias etapas de la fabricación de semiconductores. Es particularmente adecuado para grabado húmedo, deposición química de vapor (CVD) y otros procesos que involucran ambientes químicos hostiles. Su adaptabilidad lo convierte en una herramienta esencial para mantener la integridad del proceso y la calidad de las obleas.

Compromiso con la Calidad y la Innovación En Semicera, estamos comprometidos a brindar productos que cumplan con los más altos estándares de la industria. El Casete PFA ejemplifica este compromiso, ofreciendo una solución confiable que se integra perfectamente en sus procesos de fabricación. Cada casete se somete a un estricto control de calidad para garantizar que cumpla con nuestros rigurosos criterios de rendimiento y brinde la excelencia que espera de Semicera.

Elementos

Producción

Investigación

Ficticio

Parámetros de cristal

politipo

4H

Error de orientación de la superficie

<11-20 >4±0.15°

Parámetros eléctricos

dopante

Nitrógeno tipo n

Resistividad

0.015-0.025ohm·cm

Parámetros mecánicos

Diámetro

150,0 ± 0,2 mm

Espesor

350±25 micras

Orientación plana primaria

[1-100]±5°

Longitud plana primaria

47,5 ± 1,5 mm

piso secundario

Ninguno

televisión

≤5 micras

≤10 micras

≤15 micras

TVL

≤3 micras(5mm*5mm)

≤5 micras(5mm*5mm)

≤10 micras(5mm*5mm)

Arco

-15 μm ~ 15 μm

-35 μm ~ 35 μm

-45 μm ~ 45 μm

Urdimbre

≤35 micras

≤45 micras

≤55 micras

Rugosidad frontal (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Estructura

Densidad de microtubos

&lt;1 unidad/cm2

&lt;10 c/cm2

&lt;15 c/cm2

Impurezas metálicas

≤5E10atoms/cm2

N / A

TLP

≤1500 unidades/cm2

≤3000 unidades/cm2

N / A

TSD

≤500 unidades/cm2

≤1000 unidades/cm2

N / A

Calidad frontal

Frente

Si

Acabado superficial

CMP de cara Si

Partículas

≤60 unidades/oblea (tamaño≥0,3 μm)

N / A

Arañazos

≤5 unidades/mm. Longitud acumulada ≤Diámetro

Longitud acumulada≤2*Diámetro

N / A

Piel de naranja/huevos/manchas/estrías/grietas/contaminación

Ninguno

N / A

Descantillados/hendiduras/fracturas/placas hexagonales

Ninguno

Áreas politipo

Ninguno

Área acumulada≤20%

Área acumulada≤30%

Marcado láser frontal

Ninguno

Calidad trasera

Acabado trasero

CMP cara C

Arañazos

≤5ea/mm, longitud acumulada≤2*diámetro

N / A

Defectos posteriores (descantillados/hendiduras en los bordes)

Ninguno

Rugosidad de la espalda

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Marcado láser trasero

1 mm (desde el borde superior)

Borde

Borde

Chaflán

Embalaje

Embalaje

Epi-ready con envasado al vacío

Envasado de casetes de obleas múltiples

*Notas: “NA” significa sin solicitud. Los elementos no mencionados pueden referirse a SEMI-STD.

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