Los anillos RTP CVD SiC están compuestos principalmente de carburo de silicio (SiC), cuya composición química y estructura cristalina le otorgan un excelente rendimiento. El carburo de silicio es un material cerámico con alto punto de fusión, alta dureza y excelente resistencia a la corrosión. Presenta buena conductividad térmica y estabilidad química a altas temperaturas, y tiene excelente resistencia mecánica y resistencia al desgaste.
Los anillos RTP CVD SiC se utilizan ampliamente en campos industriales y científicos en entornos corrosivos y de alta temperatura. Desempeña un papel importante en la fabricación de semiconductores, la optoelectrónica, la maquinaria de precisión y la industria química. Las aplicaciones específicas incluyen:
1. Fabricación de semiconductores: los anillos RTP CVD SiC se pueden utilizar para calentar y enfriar equipos semiconductores, proporcionando un control de temperatura estable y garantizando la precisión y consistencia del proceso.
2. Optoelectrónica: debido a su excelente conductividad térmica y resistencia a altas temperaturas, los anillos RTP CVD SiC se pueden utilizar como materiales de soporte y disipación de calor para láseres, equipos de comunicación de fibra óptica y componentes ópticos.
3. Maquinaria de precisión: los anillos RTP CVD SiC se pueden utilizar para instrumentos y equipos de precisión en entornos corrosivos y de alta temperatura, como hornos de alta temperatura, dispositivos de vacío y reactores químicos.
4. Industria química: debido a su resistencia a la corrosión y estabilidad química, los anillos RTP CVD SiC se pueden utilizar en contenedores, tuberías y reactores en reacciones químicas y procesos catalíticos.
Rendimiento del producto:
1. Conozca el proceso por debajo de 28 nm
2. Súper resistencia a la corrosión
3. Rendimiento súper limpio
4. Súper dureza
5. Alta densidad
6. Resistencia a altas temperaturas
7. Resistencia al desgaste
Aplicación del producto:
Los materiales de carburo de silicio tienen las características de alta dureza, resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y estabilidad a altas temperaturas. Los productos con excelente rendimiento integral se utilizan ampliamente en procesos de grabado seco y TF/difusión.
Rendimiento del producto:
1. Conozca el proceso por debajo de 28 nm
2. Súper resistencia a la corrosión
3. Rendimiento súper limpio
4. Súper dureza
5. Alta densidad
6. Resistencia a altas temperaturas
7. Resistencia al desgaste
Desarrollo de procesos compuestos.:
• Recubrimiento de grafito + SiC
• Sólido CVD SiC
• SiC+CVD sinterizado
• SiCSiC sinterizado
Desarrollo de múltiples tipos de productos.:
• Anillo
• Mesa
• Susceptor
• Cabezal de ducha
