Piezas de grafito recubiertas de SiC para equipos epitaxiales de SiC. Introducción y uso del producto: tubo de cuarzo conectado, puede pasar gas para impulsar la rotación de la base de la bandeja, control de temperatura Ubicación del dispositivo del producto: en la cámara de reacción, sin contacto directo con la oblea Principales productos derivados: dispositivos de energía Mercado terminal principal: vehículos de nueva energía
La pieza de media luna de grafito recubierta de SiC es un componente clave que se utiliza en los procesos de fabricación de semiconductores, especialmente para equipos epitaxiales de SiC. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar la pieza en forma de media luna con una pureza extremadamente alta, buena uniformidad de recubrimiento y una excelente vida útil, así como altas propiedades de resistencia química y estabilidad térmica.
