Anillo aislante de cerámica de alúmina semiconductora

La cerámica de alúmina (Al₂O₃) es una cerámica de ingeniería avanzada compuesta principalmente de óxido de aluminio. Ofrece un excelente aislamiento eléctrico, alta resistencia mecánica, excelente resistencia al desgaste y estabilidad térmica superior. Debido a su excelente rendimiento en entornos de alta temperatura, corrosivos y de alta pureza, la cerámica de alúmina se usa ampliamente en equipos semiconductores como anillos aislantes, componentes de cámaras y otras piezas estructurales críticas.

Descripción

Anillo aislante de cerámica semiconductor es un componente cerámico de alta pureza utilizado en equipos de fabricación de semiconductores para proporcionar aislamiento eléctrico, estabilidad térmica y control de la contaminación. Fabricado con materiales cerámicos avanzados como Alúmina (Al₂O₃), circonita (ZrO₂) o nitruro de aluminio (AlN) , es ampliamente utilizado en Grabado por plasma, CVD, PVD, difusión y sistemas de procesamiento de obleas.

Anillo aislante cerámico semiconductor.

Características principales

  1. Excelente aislamiento eléctrico: Alta resistividad y rigidez dieléctrica, que evitan fugas de corriente e interferencias eléctricas.
  2. Resistencia a altas temperaturas: Mantiene la estabilidad en condiciones de alta temperatura, por lo que es adecuado para procesos térmicos de semiconductores.
  3. Excelente resistencia química: Resistente a ácidos, álcalis y gases corrosivos, y es compatible con entornos de plasma y vacío.
  4. Alta resistencia mecánica: Alta dureza, resistencia al desgaste y larga vida útil.

  5. Alta pureza y baja generación de partículas: Él Minimiza el riesgo de contaminación y cumple con los requisitos de salas blancas de semiconductores.

  6. Excelente estabilidad dimensional: El bajo coeficiente de expansión térmica garantiza un posicionamiento preciso y precisión de montaje.        

Ficha Técnica Semicera:

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Solicitud

Industria de semiconductores

  • Equipo de grabado por plasma

  • Sistemas CVD/PVD

  • Hornos de difusión y oxidación

  • Equipo de implantación de iones

  • Conjuntos de mandriles electrostáticos

  • Equipo de procesamiento de obleas

Industria Electrónica

  • Componentes de aislamiento eléctrico

  • Estructuras de aislamiento de alto voltaje

Equipos industriales

  • Sistemas de vacío

  • Equipos de procesamiento de alta temperatura

  • Componentes aislantes de precisión

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