Casete semiconductor

Cassette semiconductor: proteja y transporte sus obleas con precisión utilizando el casete semiconductor de Semicera, diseñado para garantizar una seguridad y eficiencia óptimas en entornos de fabricación de alta tecnología.

semicera presenta el Casete semiconductor , una herramienta esencial para el manejo seguro y eficiente de obleas durante todo el proceso de fabricación de semiconductores. Diseñado con alta precisión, este casete garantiza que sus obleas se almacenen y transporten de forma segura, manteniendo su integridad en cada etapa.

Protección y durabilidad superiores El Casete semiconductor de Semicera está construido para ofrecer la máxima protección a tus obleas. Construido con materiales robustos y resistentes a la contaminación, protege sus obleas de posibles daños y contaminación, lo que lo convierte en una opción ideal para entornos de salas blancas. El diseño del casete minimiza la generación de partículas y garantiza que las obleas permanezcan intactas y seguras durante la manipulación y el transporte.

Diseño mejorado para un rendimiento óptimo Semiceras Casete semiconductor presenta un diseño meticulosamente diseñado que proporciona una alineación precisa de la oblea, lo que reduce el riesgo de desalineación y daños mecánicos. Las ranuras del casete están perfectamente espaciadas para sujetar cada oblea de forma segura, evitando cualquier movimiento que pueda provocar rayones u otras imperfecciones.

Versatilidad y compatibilidad El Casete semiconductor es versátil y compatible con varios tamaños de oblea, lo que lo hace adecuado para diferentes etapas de la fabricación de semiconductores. Ya sea que trabaje con dimensiones de oblea estándar o personalizadas, este casete se adapta a sus necesidades y ofrece flexibilidad en sus procesos de fabricación.

Manejo optimizado y eficiencia Diseñado pensando en el usuario, el Casete semiconductor Semicera Es liviano y fácil de manejar, lo que permite una carga y descarga rápida y eficiente. Este diseño ergonómico no solo ahorra tiempo sino que también reduce el riesgo de error humano, lo que garantiza un funcionamiento fluido dentro de sus instalaciones.

Cumplir con los estándares de la industria Semicera asegura que el Casete semiconductor Cumple con los más altos estándares de la industria en cuanto a calidad y confiabilidad. Cada casete se somete a pruebas rigurosas para garantizar que funcione de manera consistente en las exigentes condiciones de la fabricación de semiconductores. Esta dedicación a la calidad garantiza que sus obleas estén siempre protegidas, manteniendo los altos estándares requeridos en la industria.

Elementos

Producción

Investigación

Ficticio

Parámetros de cristal

politipo

4H

Error de orientación de la superficie

<11-20 >4±0.15°

Parámetros eléctricos

dopante

Nitrógeno tipo n

Resistividad

0.015-0.025ohm·cm

Parámetros mecánicos

Diámetro

150,0 ± 0,2 mm

Espesor

350±25 micras

Orientación plana primaria

[1-100]±5°

Longitud plana primaria

47,5 ± 1,5 mm

piso secundario

Ninguno

televisión

≤5 micras

≤10 micras

≤15 micras

TVL

≤3 micras(5mm*5mm)

≤5 micras(5mm*5mm)

≤10 micras(5mm*5mm)

Arco

-15 μm ~ 15 μm

-35 μm ~ 35 μm

-45 μm ~ 45 μm

Urdimbre

≤35 micras

≤45 micras

≤55 micras

Rugosidad frontal (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Estructura

Densidad de microtubos

&lt;1 unidad/cm2

&lt;10 c/cm2

&lt;15 c/cm2

Impurezas metálicas

≤5E10atoms/cm2

N / A

TLP

≤1500 unidades/cm2

≤3000 unidades/cm2

N / A

TSD

≤500 unidades/cm2

≤1000 unidades/cm2

N / A

Calidad frontal

Frente

Si

Acabado superficial

CMP de cara Si

Partículas

≤60 unidades/oblea (tamaño≥0,3 μm)

N / A

Arañazos

≤5 unidades/mm. Longitud acumulada ≤Diámetro

Longitud acumulada≤2*Diámetro

N / A

Piel de naranja/huevos/manchas/estrías/grietas/contaminación

Ninguno

N / A

Descantillados/hendiduras/fracturas/placas hexagonales

Ninguno

Áreas politipo

Ninguno

Área acumulada≤20%

Área acumulada≤30%

Marcado láser frontal

Ninguno

Calidad trasera

Acabado trasero

CMP cara C

Arañazos

≤5ea/mm, longitud acumulada≤2*diámetro

N / A

Defectos posteriores (descantillados/hendiduras en los bordes)

Ninguno

Rugosidad de la espalda

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Marcado láser trasero

1 mm (desde el borde superior)

Borde

Borde

Chaflán

Embalaje

Embalaje

Epi-ready con envasado al vacío

Envasado de casetes de obleas múltiples

*Notas: “NA” significa sin solicitud. Los elementos no mencionados pueden referirse a SEMI-STD.

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