La circona (ZrO₂) es un material cerámico avanzado conocido por su excepcional resistencia mecánica, alta tenacidad a la fractura y excelente resistencia al desgaste. Las cerámicas de circonio de Semicera se fabrican utilizando 3% molar Circonia estabilizada con itria (3Y-TZP), que ofrece una estructura de grano fino, lo que permite un mecanizado de alta precisión y una precisión dimensional excepcional. En comparación con las cerámicas convencionales, la circona exhibe dureza, resistencia al impacto y durabilidad superiores, lo que la convierte en un material ideal para componentes de manipulación de obleas semiconductoras, piezas mecánicas de precisión, herramientas industriales y sistemas de automatización. Su baja generación de partículas y su excelente estabilidad también lo hacen adecuado para entornos de fabricación de semiconductores de alta limpieza.
Una horquilla para obleas de cerámica de circonio semiconductor es un componente de manipulación de obleas de alta precisión que se utiliza en la automatización de semiconductores y en sistemas de transferencia de obleas. Fabricado con cerámica de circonio (ZrO₂) de alto rendimiento, está diseñado para transportar, posicionar y soportar obleas durante los procesos de fabricación de semiconductores. Gracias a su alta resistencia, excelente resistencia al desgaste y baja generación de partículas, las horquillas de cerámica de circonio se utilizan ampliamente en robots de manipulación de obleas, brazos de transferencia, puertos de carga y equipos de procesamiento de vacío.
Las principales características de las piezas cerámicas de circonio. :
1. Excelente resistencia al desgaste, 276 veces mayor que la del acero inoxidable.
2. Mayor densidad que la mayoría de las cerámicas técnicas, más 6g/cm3
3. Alta dureza, más de 1300 MPa para Vickers
4. Puede soportar temperaturas más altas hasta 2400°
5. Baja conductividad térmica, menos de 3 W/mk a temperatura ambiente.
6. Coeficiente de expansión térmica similar al del acero inoxidable.
7. La excepcional tenacidad a la fractura alcanza hasta 8 MPa · m1/2
8. Inercia química, resistencia al envejecimiento y no oxidación para siempre.
9. Resistencia a los metales fundidos debido a un extraordinario punto de fusión .
Industria de semiconductores
Robots de manipulación de obleas
Sistemas de transferencia de obleas
Equipo del puerto de carga
Equipos de automatización FOUP
Equipo de procesamiento al vacío
Líneas de fabricación de semiconductores
Industria de la visualización
Sistemas de transferencia de vidrio LCD
Equipo de producción OLED
Automatización de precisión
Efectores finales robóticos
Sistemas de posicionamiento de precisión
