La paleta de carburo de silicio, también conocida como paleta voladiza de carburo de silicio, la viga voladiza de carburo de silicio es un tipo de productos cerámicos de carburo de silicio después de la sinterización a alta temperatura de 1850 ℃, pero la cerámica de carburo de silicio de sinterización a alta temperatura es un producto cerámico especial, mediante partículas finas α-SiC y aditivos presionados en un espacio en blanco, en contacto con silicio líquido a alta temperatura, carbono en el espacio en blanco e infiltración de la reacción de Si, la formación de β-SiC, y combinado con α-SiC, silicio libre rellenó la porosidad para obtener materiales cerámicos de alta densidad; Tiene varias propiedades superiores de la cerámica industrial.
Paleta voladiza de carburo de silicio Es un componente de carga crítico utilizado en equipos de proceso de semiconductores de alta temperatura, como hornos de difusión, hornos de oxidación y sistemas LPCVD. Está diseñado para transportar y transferir barcos de obleas durante el procesamiento térmico.
Fabricado con carburo de silicio (SiC) de alta pureza, ofrece una excelente estabilidad a altas temperaturas, resistencia a la fluencia y resistencia a la corrosión química. Incluso en condiciones extremas (1000–1600 °C), mantiene una alta rigidez y estabilidad dimensional, lo que garantiza una calidad y un rendimiento constantes en el procesamiento de obleas.
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Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado |
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Propiedad |
Valor típico |
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Temperatura de trabajo (°C) |
1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor) |
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Contenido de SiC |
> 99.96% |
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Contenido gratuito de Si |
< 0.1% |
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densidad aparente |
2,60-2,70 g/cm 3 |
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Porosidad aparente |
< 16% |
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Fuerza de compresión |
> 600MPa |
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Resistencia a la flexión en frío |
80-90 MPa (20°C) |
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Resistencia a la flexión en caliente |
90-100MPa (1400°C) |
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Expansión térmica @1500°C |
4.70 10 -6 /°C |
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Conductividad térmica a 1200°C |
23 W/m·K |
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módulo elástico |
240 GPa |
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Resistencia al choque térmico |
Extremadamente bueno |
La longitud de nuestra pala SiC Cantilever oscila entre 1.500 y 3.500 mm. Las dimensiones de las paletas SiC Cantilever se pueden adaptar según las especificaciones del cliente.
