Calentador de grafito recubierto de SIC para MOCVD K465i, calentador de grafito epitaxial para equipos de semiconductores

Semicera Semiconductor is a leading supplier specializing in wafer and advanced semiconductor consumables. We are dedicated to providing high-quality, reliable, and innovative products to semiconductor manufacturing, photovoltaic industry and other related fields.Our product line includes SiC/TaC coated graphite products and ceramic products, encompassing various materials such as silicon carbide, silicon nitride, and aluminum oxide and etc.As a trusted supplier, we understand the importance of consumables in the manufacturing process, and we are committed to delivering products that meet the highest quality standards to fulfill our customers’ needs.

Características principales del calentador de grafito:

1. Uniformidad de la estructura de calentamiento.

2. Buena conductividad eléctrica y alta carga eléctrica.

3. Resistencia a la corrosión.

4. Inoxidabilidad.

5. Alta pureza química.

6. Alta resistencia mecánica.

La ventaja es eficiente en energía, alto valor y bajo mantenimiento. Podemos producir antioxidación y larga vida crisada de grafito, molde de grafito y todas las partes del calentador de grafito.

Calentador de grafito (1) (1)

Parámetros principales del calentador de grafito

Especificación técnica

VET-M3

Densidad masiva (g/cm3)

≥1.85

Contenido de cenizas (PPM)

≤500

Dureza de la orilla

≥45

Resistencia específica (μ.Ω.M)

≤12

Resistencia a la flexión (MPA)

≥40

Resistencia a la compresión (MPA)

≥70

Max. Tamaño de grano (μm)

≤43

Coeficiente de expansión térmica mm/° C

≤4.4*10-6

Lugar de trabajo de semicera

Semicera Work Place 2

Máquina de equipos

Procesamiento de CNN, limpieza química, recubrimiento de CVD

Casa de Ware de Semicera

Nuestro servicio

Nuevo

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