SiC Coated Susceptor for Deep UV-LED

Semicera Energy Technology Co., Ltd. is a leading supplier of advanced semiconductor ceramics. Our main products include: Silicon carbide etched discs, silicon carbide boat trailers, silicon carbide wafer ships (PV & Semiconductor), silicon carbide furnace tubes, silicon carbide cantilever paddles, silicon carbide chuck, silicon carbide beams, as well as CVD SiC coatings and TaC coatings.The products are mainly used in the semiconductor and photovoltaic industries, such as crystal growth, epitaxy, etching, packaging, coating and diffusion furnace equipment.

Descripción

Nuestra compañía proporciona servicios de procesos de recubrimiento SIC mediante el método de CVD en la superficie del grafito, la cerámica y otros materiales, de modo que los gases especiales que contienen carbono y silicio reaccionan a alta temperatura para obtener moléculas SiC de alta pureza, moléculas depositadas en la superficie de los materiales recubiertos, formando una capa protectora SIC.

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UV-LED-1

UV-LED-2

Características principales

1. High temperature oxidation resistance: the oxidation resistance is still very good when the temperature is as high as 1600 C.
2. Alta pureza: hecha por deposición de vapor químico en una condición de cloración de alta temperatura.
3. Resistencia a la erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
4. Resistencia a la corrosión: ácido, álcali, sal y reactivos orgánicos.

Especificaciones principales de recubrimiento CVD-SIC

Propiedades de SIC-CVD
Estructura cristalina Fase FCC β
Densidad g/cm ³ 3.21
Dureza Dureza de Vickers 2500
Tamaño de grano mm 2~10
Pureza química % 99.99995
Capacidad de calor J · KG-1 · K-1 640
Temperatura de sublimación 2700
Fuerza del felexural MPA (RT 4 puntos) 415
Módulo de Young GPA (4pt Bend, 1300 ℃) 430
Expansión térmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conductividad térmica (W/mk) 300

Lugar de trabajo de semicera

Semicera Work Place 2

Máquina de equipos

Procesamiento de CNN, limpieza química, recubrimiento de CVD

Nuestro servicio

Nuevo

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