SiC Pin Trays for ICP Etching Processes in the LED Industry

Semicera’s SiC Pin Trays for ICP Etching Processes in the LED Industry are specifically designed to enhance efficiency and precision in etching applications. Made from high-quality silicon carbide, these pin trays offer excellent thermal stability, chemical resistance, and mechanical strength. Ideal for the demanding conditions of the LED manufacturing process, Semicera’s SiC pin trays ensure uniform etching, minimize contamination, and improve overall process reliability, contributing to high-quality LED production.

Descripción del Producto

Nuestra compañía proporciona servicios de procesos de recubrimiento SIC mediante el método de CVD en la superficie del grafito, la cerámica y otros materiales, de modo que los gases especiales que contienen carbono y silicio reaccionan a alta temperatura para obtener moléculas SiC de alta pureza, moléculas depositadas en la superficie de los materiales recubiertos, formando una capa protectora SIC.

Características principales:

1. Resistencia a la oxidación de alta temperatura:

La resistencia a la oxidación sigue siendo muy buena cuando la temperatura es tan alta como 1600 C.

2. Alta pureza: hecha por deposición de vapor químico en una condición de cloración de alta temperatura.

3. Resistencia a la erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.

4. Resistencia a la corrosión: ácido, álcali, sal y reactivos orgánicos.

Silicon carbide etched disk (2)

Especificaciones principales de recubrimiento CVD-SIC

Propiedades de SIC-CVD

Estructura cristalina

Fase FCC β

Densidad

g/cm ³

3.21

Dureza

Dureza de Vickers

2500

Tamaño de grano

mm

2~10

Pureza química

%

99.99995

Capacidad de calor

J · KG-1 · K-1

640

Temperatura de sublimación

2700

Fuerza del felexural

MPA (RT 4 puntos)

415

Módulo de Young

GPA (4pt Bend, 1300 ℃)

430

Expansión térmica (CTE)

10-6K-1

4.5

Conductividad térmica

(W/mk)

300

Lugar de trabajo de semicera

Semicera Work Place 2

Máquina de equipos

Procesamiento de CNN, limpieza química, recubrimiento de CVD

Nuestro servicio

Nuevo

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