Disco abrasivo de oblea de SiC: acabado superficial de alta precisión Ra 0,2 μm

Descripción

El disco abrasivo cerámico de carburo de silicio es un componente de equipo de proceso de alta precisión diseñado para la fabricación de obleas en la industria de semiconductores. Se utiliza principalmente en procesos de pulido y pulido de obleas de silicio de circuitos integrados de ultra gran escala (ULSI).

En comparación con los discos abrasivos tradicionales de hierro fundido o acero al carbono, los discos abrasivos cerámicos de SiC ofrecen una estabilidad dimensional superior, una vida útil más larga y una deformación térmica significativamente reducida, lo que los hace más adecuados para los requisitos avanzados de procesamiento de obleas.

Características principales

• Alta dureza y excelente resistencia al desgaste : Garantiza un funcionamiento estable a largo plazo en condiciones de molienda de alta velocidad.
• Bajo coeficiente de expansión térmica. : Coincide estrechamente con los materiales de las obleas de silicio, lo que mejora la precisión dimensional
• Alta planitud y estabilidad : Reduce la deformación durante el procesamiento, asegurando el paralelismo de la oblea y la calidad de la superficie.
• Excelente estabilidad térmica : Mantiene el rendimiento mecánico en condiciones de procesamiento continuo.
• Resistencia a altas temperaturas (hasta ~1600°C) : No hay degradación significativa de la resistencia a temperaturas elevadas
• Resistencia a la oxidación y la corrosión. : Adecuado para entornos industriales hostiles
• Larga vida útil : Reduce la frecuencia de mantenimiento y el coste de producción.

Aplicaciones

• Rectificado y pulido de obleas de silicio en la fabricación de semiconductores
• Procesamiento de obleas de circuito integrado de ultra gran escala (ULSI)
• Lapeado y pulido de precisión de materiales de sustrato ópticos o planos.
• Acabado superficial de alta precisión de materiales cerámicos, metálicos o en bloques
• Componentes estructurales de alta temperatura, como placas superiores de hornos, soportes y accesorios experimentales.

semicera

semicera es una empresa orientada a la fabricación que se especializa en I + D, producción y venta de productos cerámicos de carburo de silicio. Desde su creación en 2016, la empresa ha desarrollado una capacidad de fabricación interna completa, dominando múltiples procesos de conformado, incluido el prensado isostático, el prensado de alto tonelaje, la fundición en barbotina y la extrusión al vacío.

Semicera opera 6 líneas de producción de sinterización de cerámica de carburo de silicio, junto con 8 centros de mecanizado CNC y 6 máquinas rectificadoras de precisión, lo que permite una producción totalmente integrada desde el conformado en bruto hasta el mecanizado y acabado de precisión.

Además de los componentes sinterizados de carburo de silicio, la empresa también ofrece servicios personalizados de mecanizado y fabricación para materiales cerámicos avanzados, incluidas cerámicas de carburo de silicio, cerámicas de alúmina, cerámicas de nitruro de aluminio y cerámicas de circonio, que admiten aplicaciones industriales de alta precisión y confiabilidad.