Portadores de obleas de grafito con carburo de silicio

Los portadores de obleas de grafito recubiertos con carburo de silicio de semiconductores semicera ofrecen resistencia excepcional y estabilidad térmica para el manejo de la oblea. Elija Semicera para portadores de alto rendimiento con tecnología avanzada de recubrimiento SIC, asegurando una mayor durabilidad y eficiencia en aplicaciones de semiconductores.

Descripción

Los portadores de obleas semicorex con recubrimiento SIC proporcionan una estabilidad y conductividad térmica excepcionales, asegurando una distribución de calor uniforme durante los procesos de ECV, crucial para la película delgada de alta calidad y las características de recubrimiento.

Características clave:

1. Excelente estabilidad térmica y conductividad Nuestros portadores de obleas recubiertas de SIC se destacan en el mantenimiento de temperaturas estables y consistentes, cruciales para los procesos de ECV. Esto garantiza una distribución de calor uniforme, lo que lleva a una película delgada superior y una calidad de recubrimiento.

2. Fabricación de precisión Cada portador de obleas se fabrica con estándares exigentes, asegurando un grosor uniforme y suavidad de la superficie. Esta precisión es vital para lograr tasas de deposición consistentes y propiedades de la película en múltiples obleas, mejorando la calidad general de la fabricación.

3. Barrera de impureza El recubrimiento SIC actúa como una barrera impermeable, evitando la difusión de impurezas del susceptor en la oblea. Esto minimiza los riesgos de contaminación, lo cual es fundamental para producir dispositivos semiconductores de alta pureza.

4. Durabilidad y costumbre La construcción robusta y el recubrimiento SIC mejoran la durabilidad de los portadores de la oblea, reduciendo la frecuencia de los reemplazos de susceptores. Esto conduce a menores costos de mantenimiento y un tiempo de inactividad minimizado, aumentando la eficiencia de las operaciones de fabricación de semiconductores.

5. Opciones de personalización Los portadores de obleas semicorex con recubrimiento SIC se pueden personalizar para cumplir con los requisitos de proceso específicos, incluidas las variaciones en tamaño, forma y espesor de recubrimiento. Esta flexibilidad permite la optimización del susceptor para que coincida con las demandas únicas de diferentes procesos de fabricación de semiconductores. Las opciones de personalización permiten el desarrollo de diseños de susceptores adaptados a aplicaciones especializadas, como fabricación o investigación y desarrollo de alto volumen, lo que garantiza un rendimiento óptimo para casos de uso específicos.

Aplicaciones:

Los transportistas de obleas de semicera con recubrimiento SIC son ideales para:

• Crecimiento epitaxial de materiales semiconductores

• Procesos de deposición de vapor químico (CVD)

• Producción de obleas de semiconductores de alta calidad

• Aplicaciones avanzadas de fabricación de semiconductores

Especificaciones técnicas:

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Lugar de trabajo de semicera

Semicera Work Place 2

Máquina de equipos

Procesamiento de CNN, limpieza química, recubrimiento de CVD

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