Semicera proporciona botes de oblea, soportes y transportadores de oblea personalizados para configuraciones verticales/de columna y horizontales. Las cerámicas avanzadas proporcionan una excelente resistencia al calor y durabilidad del plasma, al tiempo que reducen las partículas y los contaminantes. El carburo de silicio (SiC) de grado semiconductor también proporciona resistencia a altas temperaturas para portadores de obleas de alta capacidad.
Presentamos nuestra placa horizontal para embarcaciones de carburo de silicio de última generación, diseñada meticulosamente para las aplicaciones de procesamiento de obleas de la industria de semiconductores. Fabricada con el mejor carburo de silicio, nuestra placa horizontal para embarcaciones destaca por sus propiedades térmicas, resistencia química y resistencia mecánica superiores. Ideal para procesos de alta temperatura, esta placa para embarcaciones está diseñada para ofrecer un rendimiento excepcional, garantizando precisión y eficiencia en cada uso.
Durabilidad excepcional: Fabricado con carburo de silicio de alta pureza, nuestro La placa del barco está diseñada para soportar temperaturas extremas de hasta 1600 °C, ofreciendo durabilidad y vida útil incomparables.
Distribución uniforme del calor: La conductividad térmica del carburo de silicio garantiza una distribución uniforme del calor en la placa, algo fundamental para mantener la coherencia del proceso y lograr una producción de obleas de alta calidad.
Resistencia química: Resistente a productos químicos corrosivos y ambientes hostiles, nuestra placa para embarcaciones mantiene la integridad y el rendimiento, incluso en las aplicaciones de procesamiento de semiconductores más exigentes.
Alta resistencia mecánica: La construcción robusta de nuestra placa para embarcaciones garantiza una excelente resistencia mecánica y al desgaste, reduciendo el riesgo de daños y la necesidad de reemplazos frecuentes.
Aplicaciones:
Nuestra placa horizontal para embarcaciones de carburo de silicio es perfecta para una amplia gama de procesos de alta temperatura en la fabricación de semiconductores, incluidos, entre otros, procesos de difusión, oxidación, implantación de iones y CVD. . Su diseño y materiales garantizan que pueda satisfacer los requisitos precisos del procesamiento de obleas, lo que lo convierte en un componente esencial para las líneas de producción de semiconductores.
