El susceptor de oblea de carburo de silicio (SiC) es uno de los componentes clave utilizados en el proceso de deposición química de vapor de metales orgánicos (MOCVD). Su función principal es monitorear y controlar parámetros clave en el proceso MOCVD para garantizar la calidad del crecimiento y la uniformidad de la película delgada.
Los susceptores de oblea de carburo de silicio (SiC) para MOCVD de semicera están diseñados para procesos epitaxiales avanzados y ofrecen un rendimiento superior para aplicaciones de epitaxia de Si y epitaxia de SiC. El enfoque innovador de Semicera garantiza que estos susceptores sean duraderos y eficientes, proporcionando estabilidad y precisión para operaciones de fabricación críticas.
Diseñados para satisfacer las complejas necesidades de los sistemas MOCVD Susceptor, estos productos son versátiles y compatibles con portadores como PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier y RTP Carrier. Su flexibilidad los hace adecuados para industrias de alta tecnología, incluidas aquellas que trabajan con susceptor epitaxial LED y silicio monocristalino.
Con múltiples configuraciones, incluidos Barrel Susceptor y Pancake Susceptor, estos susceptores de oblea también son esenciales en el sector fotovoltaico, ya que respaldan la fabricación de piezas fotovoltaicas. Para los fabricantes de semiconductores, la capacidad de manejar procesos de epitaxia de GaN en SiC hace que estos susceptores sean muy valiosos para garantizar resultados de alta calidad en una amplia gama de aplicaciones.
1. Grafito recubierto de SiC de alta pureza
2. Resistencia al calor superior y uniformidad térmica
3. Fino revestimiento de cristal de SiC para una superficie lisa
4. Alta durabilidad frente a limpieza química.
| SiC-CVD | ||
| Densidad | (g/cc) | 3.21 |
| Resistencia a la flexión | (Mpa) | 470 |
| Expansión térmica | (10-6/K) | 4 |
| Conductividad térmica | (W/mK) | 300 |
Capacidad de suministro:
10000 pedazos/pedazos por mes
Embalaje y entrega:
Embalaje: embalaje estándar y resistente
Bolsa de polietileno + Caja + Cartón + Paleta
Puerto:
Ningbo/Shenzhen/Shanghái
Plazo de entrega:
|
Cantidad (piezas) |
1-1000 |
>1000 |
| Est. Tiempo (días) | 30 | Para ser negociado |
