Semicera Semiconductor’s TaC Coated Graphite Guide Ring is engineered for silicon carbide crystal growth, providing exceptional wear resistance and thermal stability. Choose Semicera for reliable and high-performance components.
TaC coated graphite guide rings refer to the deposition of a thin layer of carburo de tántalo on the surface of a graphite guide ring to improve its wear resistance, high temperature resistance and chemical stability. This coating is usually formed on the surface of a graphite guide ring by techniques such as physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD).
Semicera proporciona recubrimientos especializados de carburo tantalum (TAC) para varios componentes y portadores. El proceso de recubrimiento principal de semicera permite que los recubrimientos de carburo tantálio (TAC) logren una alta pureza, estabilidad de alta temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GaN y las capas EPI (Susceptor TAC recubierto de grafito), y extendiendo la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento TAC TAC Tantalum es resolver el problema del borde y mejorar la calidad del crecimiento de los cristales, y las semicera han resuelto la tecnología de recubrimiento de carburo Tantalum (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.
Después de años de desarrollo, Semicera ha conquistado la tecnología de CVD TAC con los esfuerzos conjuntos del departamento de I + D. Los defectos son fáciles de ocurrir en el proceso de crecimiento de las obleas SIC, pero después de usar TAC, la diferencia es significativa. A continuación se muestra una comparación de las obleas con y sin TAC, así como las partes de Simicera para el crecimiento de un solo cristal.
The main features of TaC coated graphite guide rings include:
1. High temperature resistance: TaC coating has excellent high temperature stability and can maintain stability in high temperature environments.
2. Wear resistance: The high hardness of the tantalum carbide thin layer gives the guide ring good wear resistance and extends its service life.
3. Chemical stability: TaC coating has high stability against chemical corrosion, making it suitable for applications in some corrosive media.
4. Reduce friction: TaC coating can effectively reduce the friction between the graphite guide ring and other components and improve the efficiency of mechanical seals.
Además, Semicera's Productos recubiertos de TAC exhibir una vida útil más larga y una mayor resistencia a alta temperatura en comparación con Recubrimientos sic. Las mediciones de laboratorio han demostrado que nuestro Recubrimientos TAC puede realizar constantemente a temperaturas de hasta 2300 grados Celsius durante períodos prolongados. A continuación hay algunos ejemplos de nuestras muestras:
