La placa de grafito con recubrimiento de carburo de tantalio de Semicera está diseñada para aplicaciones de alto rendimiento en epitaxia de carburo de silicio y crecimiento de cristales. Esta placa ofrece una estabilidad excepcional en entornos de alta temperatura, corrosivos y de alta presión. Ideal para su uso en reactores avanzados y estructuras de hornos, mejora el rendimiento y la longevidad del sistema. Semicera garantiza una calidad y confiabilidad superiores con tecnología de recubrimiento de vanguardia para necesidades de ingeniería exigentes.
La lámina de grafito recubierta de carburo de tantalio es un material de grafito con una fina capa de carburo de tantalio en la superficie del sustrato. La fina capa de carburo de tantalio generalmente se forma sobre la superficie del sustrato de grafito mediante técnicas como la deposición física de vapor (PVD) o la deposición química de vapor (CVD). Este recubrimiento tiene excelentes propiedades como alta dureza, excelente resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y estabilidad a altas temperaturas.
Semicera proporciona recubrimientos especializados de carburo de tantalio (TaC) para diversos componentes y soportes. El proceso de recubrimiento líder de Semicera permite que los recubrimientos de carburo de tantalio (TaC) alcancen alta pureza, estabilidad a alta temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GAN y las capas EPI (susceptor de TaC recubierto de grafito) y extendiendo la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento TaC de carburo de tantalio tiene como objetivo resolver el problema de los bordes y mejorar la calidad del crecimiento del cristal, y Semicera ha resuelto de manera innovadora la tecnología de recubrimiento de carburo de tantalio (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.
Después de años de desarrollo, Semicera ha conquistado la tecnología de CVD TaC con los esfuerzos conjuntos del departamento de I+D. Es fácil que se produzcan defectos en el proceso de crecimiento de las obleas de SiC, pero después de usar TaC, la diferencia es significativa. A continuación se muestra una comparación de obleas con y sin TaC, así como piezas de Simicera para el crecimiento de monocristales.
Las principales ventajas de la lámina de grafito recubierta de carburo de tantalio incluyen:
1. Resistencia a altas temperaturas: el carburo de tantalio tiene un alto punto de fusión y una excelente estabilidad a altas temperaturas, lo que hace que la lámina de grafito recubierta sea adecuada para su uso en ambientes de altas temperaturas.
2. Resistencia a la corrosión: el recubrimiento de carburo de tantalio puede resistir la erosión de muchas sustancias químicas corrosivas y prolongar la vida útil del material.
3. Alta dureza: La alta dureza de la fina capa de carburo de tantalio proporciona una buena resistencia al desgaste y es adecuada para aplicaciones que requieren una alta resistencia al desgaste.
4. Estabilidad química: el recubrimiento de carburo de tantalio tiene una excelente estabilidad a la corrosión química y es adecuado para su uso en algunos medios corrosivos.
Además, los productos recubiertos de TaC de Semicera exhiben una vida útil más larga y una mayor resistencia a altas temperaturas en comparación con Recubrimientos de SiC. Las mediciones de laboratorio han demostrado que nuestros recubrimientos TaC pueden funcionar consistentemente a temperaturas de hasta 2300 grados Celsius durante períodos prolongados. A continuación se muestran algunos ejemplos de nuestras muestras.:
