El grafito es un material excelente para altas temperaturas, pero se oxida fácilmente a altas temperaturas. Incluso en hornos de vacío con gas inerte, todavía puede sufrir una oxidación lenta. El uso de un recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) CVD puede proteger eficazmente el sustrato de grafito, proporcionando la misma resistencia a altas temperaturas que el grafito. El TaC también es un material inerte, lo que significa que no reaccionará con gases como el argón o el hidrógeno a altas temperaturas. Consulta ¡Recubrimiento CVD de carburo de tantalio EPI Susceptor ahora!
Semicera proporciona recubrimientos especializados de carburo de tantalio (TaC) para diversos componentes y soportes. El proceso de recubrimiento líder de Semicera permite que los recubrimientos de carburo de tantalio (TaC) alcancen alta pureza, estabilidad a alta temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GAN y las capas EPI (susceptor de TaC recubierto de grafito) y extendiendo la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento TaC de carburo de tantalio tiene como objetivo resolver el problema de los bordes y mejorar la calidad del crecimiento del cristal, y Semicera ha resuelto de manera innovadora la tecnología de recubrimiento de carburo de tantalio (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.
El grafito es un material excelente para altas temperaturas, pero se oxida fácilmente a altas temperaturas. Incluso en hornos de vacío con gas inerte, todavía puede sufrir una oxidación lenta. El uso de un recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) CVD puede proteger eficazmente el sustrato de grafito, proporcionando la misma resistencia a altas temperaturas que el grafito. El TaC también es un material inerte, lo que significa que no reaccionará con gases como el argón o el hidrógeno a altas temperaturas. Consulta Susceptor EPI con revestimiento CVD de carburo de tantalio ¡ahora!
Después de años de desarrollo, Semicera ha conquistado la tecnología de CVD TaC con los esfuerzos conjuntos del departamento de I+D. Es fácil que se produzcan defectos en el proceso de crecimiento de las obleas de SiC, pero después de usar TaC, la diferencia es significativa. A continuación se muestra una comparación de obleas con y sin TaC, así como piezas de Simicera para el crecimiento de monocristales.
Además, los productos recubiertos de TaC de Semicera exhiben una vida útil más larga y una mayor resistencia a altas temperaturas en comparación con Recubrimientos de SiC. Las mediciones de laboratorio han demostrado que nuestros recubrimientos TaC pueden funcionar consistentemente a temperaturas de hasta 2300 grados Celsius durante períodos prolongados. A continuación se muestran algunos ejemplos de nuestras muestras.:
