Las placas superiores de cerámica para máquinas de carga y descarga de circonio son plataformas estructurales de alta precisión que se utilizan en sistemas de carga y descarga de obleas semiconductoras. Fabricados con circonio 3Y-PSZ (ZrO₂), ofrecen una excelente resistencia mecánica, alta tenacidad a la fractura y una resistencia superior al desgaste. Estas placas superiores de cerámica garantizan un soporte estable de oblea o FOUP, una alta precisión de posicionamiento y una baja generación de partículas, lo que las hace ideales para equipos de automatización de salas blancas.
La circona es un material cerámico de alto rendimiento con excelente resistencia mecánica y alta tenacidad a la fractura a temperatura ambiente. La circona de Semicera (ZrO₂) se estabiliza con 3 % molar de itria (3Y-PSZ) , que proporciona una microestructura fina y uniforme adecuada para mecanizado de alta precisión.
Debido a su pequeño tamaño de grano y estructura de fase estable, el circonio 3Y-PSZ se puede procesar en componentes complejos y de alta precisión. Se utiliza ampliamente en piezas mecánicas de precisión, herramientas industriales y aplicaciones de ingeniería de alto nivel.
La circona también ofrece una excelente resistencia al desgaste y al impacto, lo que la hace adecuada para condiciones de funcionamiento exigentes. Su alta tenacidad le permite mantener la estabilidad estructural bajo estrés mecánico y se usa comúnmente en componentes de precisión, sistemas de corte industrial y piezas resistentes al desgaste.
Además, el circonio se aplica ampliamente en moldes de precisión, componentes de conectores ópticos, medios trituradores y otros campos industriales que requieren alta confiabilidad y larga vida útil.
