The TaC Coated MOCVD Graphite Susceptor by Semicera is designed for high durability and exceptional high-temperature resistance, making it perfect for MOCVD epitaxy applications. This susceptor enhances efficiency and quality in Deep UV LED production. Manufactured with precision, Semicera ensures top-notch performance and reliability in every product.
Revêtement TAC is an important material coating, which is usually prepared on a graphite base by metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) technology. This coating has excellent properties, such as high hardness, excellent wear resistance, high temperature resistance and chemical stability, and is suitable for various high-demand engineering applications.
MOCVD technology is a commonly used thin film growth technology that deposits the desired compound film on the substrate surface by reacting metal organic precursors with reactive gases at high temperatures. When preparing Revêtement TAC, selecting appropriate metal organic precursors and carbon sources, controlling reaction conditions and deposition parameters, a uniform and dense TaC film can be deposited on a graphite base.
Semicera propose des revêtements de carbure de tantale (TAC) spécialisés pour divers composants et transporteurs. Le processus de revêtement des semirera permet des revêtements de carbure de tantale (TAC) pour obtenir une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant la qualité du produit des cristaux SIC / GaN et des couches EPI (Suscepteur TAC revêtu de graphite), et prolonger la durée de vie des composants du réacteur clé. L'utilisation du revêtement en carbure de carbure de tantale consiste à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance des cristaux, et Semicera a permis de résoudre la technologie du revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.
After years of development, Semicera has conquered the technology of CVD TaC with the joint efforts of the R&D department. Defects are easy to occur in the growth process of SiC wafers, but after using TaC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
De plus, les semirera Produits enrobés de TAC présenter une durée de vie plus longue et une plus grande résistance à haute température par rapport à Revêtements sic. Des mesures de laboratoire ont démontré que notre Revêtements de tac Peut régulièrement effectuer à des températures allant jusqu'à 2300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Voici quelques exemples de nos échantillons:
