The Tantalum Carbide Coating Graphite Plate by Semicera is engineered for high-performance applications in silicon carbide epitaxy and crystal growth. This plate offers exceptional stability in high-temperature, corrosive, and high-pressure environments. Ideal for use in advanced reactors and furnace structures, it enhances system performance and longevity. Semicera ensures superior quality and reliability with cutting-edge coating technology for demanding engineering needs.
Tantalum carbide coated graphite sheet is a graphite material with a thin layer of carbure de tantale on the surface of the substrate. The thin layer of tantalum carbide is usually formed on the surface of the graphite substrate by techniques such as physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD). This coating has excellent properties such as high hardness, excellent wear resistance, corrosion resistance and high temperature stability.
Semicera propose des revêtements de carbure de tantale (TAC) spécialisés pour divers composants et transporteurs. Le processus de revêtement des semirera permet des revêtements de carbure de tantale (TAC) pour obtenir une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant la qualité du produit des cristaux SIC / GaN et des couches EPI (Suscepteur TAC revêtu de graphite), et prolonger la durée de vie des composants du réacteur clé. L'utilisation du revêtement en carbure de carbure de tantale consiste à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance des cristaux, et Semicera a permis de résoudre la technologie du revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.
After years of development, Semicera has conquered the technology of CVD TaC with the joint efforts of the R&D department. Defects are easy to occur in the growth process of SiC wafers, but after using TaC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
The main advantages of tantalum carbide coated graphite sheet include:
1. High temperature resistance: Tantalum carbide has a high melting point and excellent high temperature stability, making the coated graphite sheet suitable for use in high temperature environments.
2. Corrosion resistance: Tantalum carbide coating can resist the erosion of many chemical corrosive substances and extend the service life of the material.
3. High hardness: The high hardness of the tantalum carbide thin layer provides good wear resistance and is suitable for applications requiring high wear resistance.
4. Chemical stability: Tantalum carbide coating has excellent stability to chemical corrosion and is suitable for use in some corrosive media.
De plus, les semirera Produits enrobés de TAC présenter une durée de vie plus longue et une plus grande résistance à haute température par rapport à Revêtements sic. Des mesures de laboratoire ont démontré que notre Revêtements de tac Peut régulièrement effectuer à des températures allant jusqu'à 2300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Voici quelques exemples de nos échantillons:
