Plateau MOCVD enduit de pureté de haute pureté anti-oxydation

Semicera Energy Technology Co., Ltd. is a leading supplier specializing in wafer and advanced semiconductor consumables.We are dedicated to providing high-quality, reliable, and innovative products to semiconductor manufacturing,photovoltaic industryand other related fields.

Our product line includes SiC/TaC coated graphite products and ceramic products, encompassing various materials such as silicon carbide, silicon nitride, and aluminum oxide and etc.

As a trusted supplier, we understand the importance of consumables in the manufacturing process, and we are committed to delivering products that meet the highest quality standards to fulfill our customers’ needs.

Description

 

 

 

 

 

Our company provides SiC coating process services by CVD method on the surface of graphite, ceramics and other materials, so that special gases containing carbon and silicon react at high temperature to obtain high purity SiC molecules, molecules deposited on the surface of the coated materials, forming a SiC protective layer.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Caractéristiques principales

 

 

 

 

 

1. Résistance à l'oxydation à haute température:
La résistance à l'oxydation est encore très bonne lorsque la température est aussi élevée que 1600 C.
2.
3. Résistance à l'érosion: dureté élevée, surface compacte, particules fines.
4. Résistance à la corrosion: réactifs acide, alcalin, sel et organique.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Spécifications principales du revêtement CVD-SIC

 

 

 

 

 

Propriétés SIC-CVD
Structure cristalline FCC β phase
Densité g/cm ³ 3.21
Dureté Vickers dureté 2500
Taille des grains μm 2~10
Pureté chimique % 99.99995
Capacité thermique J·kg-1 ·K-1 640
Température de sublimation 2700
Résistance aux félexes MPa  (RT 4-point) 415
Young’ s Modulus GPA (4pt Bend, 1300 ℃) 430
Expansion thermique (CTE) 10-6K-1 4.5
Conductivité thermique (W / mk) 300

 

 

 

 

 

 

 

 

MOCVD EPITAXIAL PARTS

 

 

 

 

 

MOCVD disk

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 Equipment

 

 

 

 

 

about

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Lieu de travail Semiera

 

 

 

Semirara Lieu de travail 2

 

 

 

Machine de matériel

 

 

 

Traitement CNN, nettoyage chimique, revêtement CVD

 

 

 

Maison des articles semira

 

 

 

Notre service

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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