Semicera’s High Purity Porous Tantalum Carbide Coated Barrel is specifically designed for silicon carbide (SiC) crystal growth furnaces. Featuring a high-purity tantalum carbide coating and a porous structure, this barrel provides exceptional thermal stability and resistance to chemical corrosion. Semicera’s advanced coating technology ensures long-lasting performance and efficiency in SiC crystal growth processes, making it an ideal choice for demanding semiconductor applications.
Porous tantalum carbide coated barrel is tantalum carbide as the main coating material, tantalum carbide has excellent corrosion resistance, wear resistance and high temperature stability. It can effectively protect the base material from chemical erosion and high temperature atmosphere. The base material usually has the characteristics of high temperature resistance and corrosion resistance. It can provide good mechanical strength and chemical stability, and at the same time serve as the supporting basis of the tantalum carbide coating.
Semicera propose des revêtements de carbure de tantale (TAC) spécialisés pour divers composants et transporteurs. Le processus de revêtement des semirera permet des revêtements de carbure de tantale (TAC) pour obtenir une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant la qualité du produit des cristaux SIC / GaN et des couches EPI (Suscepteur TAC revêtu de graphite), et prolonger la durée de vie des composants du réacteur clé. L'utilisation du revêtement en carbure de carbure de tantale consiste à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance des cristaux, et Semicera a permis de résoudre la technologie du revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.
After years of development, Semicera has conquered the technology of CVD TaC with the joint efforts of the R&D department. Defects are easy to occur in the growth process of SiC wafers, but after using TaC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
De plus, les semirera Produits enrobés de TAC présenter une durée de vie plus longue et une plus grande résistance à haute température par rapport à Revêtements sic. Des mesures de laboratoire ont démontré que notre Revêtements de tac Peut régulièrement effectuer à des températures allant jusqu'à 2300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Voici quelques exemples de nos échantillons:
