Long-life SiC Coated Graphite Heater for MOCVD K465i, Graphite Heater for epitaxy

The graphite heater components are used in the high temperature furnace with temperature reached 2200 degrees at vacuum environment and 3000 degrees in the deoxidized and inserted gas environment.

Description

The graphite heater components are used in the high temperature furnace with temperature reached 2200 degrees at vacuum environment and 3000 degrees in the deoxidized and inserted gas environment.

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Caractéristiques principales

1. Uniformité de la structure de chauffage.
2. Bonne conductivité électrique et charge électrique élevée.
3. Résistance à la corrosion.
4. Inoxidisabilité.
5. Pureté chimique élevée.
6. Résistance mécanique élevée.
The advantage is energy efficient, high value and low maintenance.
We can produce anti-oxidation and long life span graphite crucible, graphite mold and all parts of graphite heater.

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Paramètres principaux du radiateur en graphite

Spécifications techniques

VET-M3

Densité en vrac (g / cm3)

≥1.85

Contenu des cendres (PPM)

≤500

Dureté des rives

≥45

Résistance spécifique (μ.ω.m)

≤12

Résistance à la flexion (MPA)

≥40

Résistance à la compression (MPA)

≥70

Max. Taille des grains (μm)

≤43

Coefficient de dilatation thermique mm / ° C

≤4.4*10-6

Graphite heater for electric furnace has properties of heat resistance, oxidation resistance, good electrical conductivity and better mechanical intensity. We can machine various types of graphite heater according to customers’ designs.

Lieu de travail Semiera

Semirara Lieu de travail 2

Machine de matériel

Traitement CNN, nettoyage chimique, revêtement CVD

Maison des articles semira

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