Réfonce de graphite enduit SIC pour MOCVD K465I, radiateur de graphite épitaxial pour équipement semi-conducteur

Semicera Semiconductor is a leading supplier specializing in wafer and advanced semiconductor consumables. We are dedicated to providing high-quality, reliable, and innovative products to semiconductor manufacturing, photovoltaic industry and other related fields.Our product line includes SiC/TaC coated graphite products and ceramic products, encompassing various materials such as silicon carbide, silicon nitride, and aluminum oxide and etc.As a trusted supplier, we understand the importance of consumables in the manufacturing process, and we are committed to delivering products that meet the highest quality standards to fulfill our customers’ needs.

Caractéristiques principales du radiateur en graphite:

1. Uniformité de la structure de chauffage.

2. Bonne conductivité électrique et charge électrique élevée.

3. Résistance à la corrosion.

4. Inoxidisabilité.

5. Pureté chimique élevée.

6. Résistance mécanique élevée.

L'avantage est économe en énergie, à grande valeur et à faible entretien. Nous pouvons produire de l'anti-oxydation et du creuset en graphite à longue durée de vie, de la moisissure en graphite et toutes les parties du radiateur en graphite.

Réfonce de graphite (1) (1)

Paramètres principaux du radiateur en graphite

Spécifications techniques

VET-M3

Densité en vrac (g / cm3)

≥1.85

Contenu des cendres (PPM)

≤500

Dureté des rives

≥45

Résistance spécifique (μ.ω.m)

≤12

Résistance à la flexion (MPA)

≥40

Résistance à la compression (MPA)

≥70

Max. Taille des grains (μm)

≤43

Coefficient de dilatation thermique mm / ° C

≤4.4*10-6

Lieu de travail Semiera

Semirara Lieu de travail 2

Machine de matériel

Traitement CNN, nettoyage chimique, revêtement CVD

Maison des articles semira

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