SiC Crystal Growth Tubes with Advanced Tantalum Carbide Coating

The coating has high purity, high temperature resistance, and chemical resistance to effectively protect graphite surfaces from wear, corrosion, and oxidation. Tantalum carbide coating is a high-performance surface coating technology that provides superior performance enhancement by forming a wear-resistant, corrosion-resistant protective layer on the surface of the material.

Semicera Semicera provides specialized tantalum carbide (TaC) coatings for various components and carriers. Semicera Semicera leading coating process enables tantalum carbide (TaC) coatings to achieve high purity, high temperature stability and high chemical tolerance, improving product quality of SIC/GAN crystals and EPI layers (Suscepteur TAC revêtu de graphite), and extending the life of key reactor components. The use of tantalum carbide TaC coating is to solve the edge problem and improve the quality of crystal growth, and Semicera Semicera has breakthrough solved the tantalum carbide coating technology (CVD), reaching the international advanced level.

After years of development, Semicera has conquered the technology of CVD TaC with the joint efforts of the R&D department. Defects are easy to occur in the growth process of SiC wafers, but after using TaC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.

Revocation de carbure de Tantalum à haute efficacité_ Améliorez l'efficacité de la production industrielle et réduisez les coûts de maintenance Image en vedette

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avec et sans tac

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Après avoir utilisé TAC (à droite)

De plus, les semirera Produits enrobés de TAC présenter une durée de vie plus longue et une plus grande résistance à haute température par rapport à Revêtements sic. Des mesures de laboratoire ont démontré que notre Revêtements de tac Peut régulièrement effectuer à des températures allant jusqu'à 2300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Voici quelques exemples de nos échantillons:

 

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Lieu de travail Semiera

Semirara Lieu de travail 2

Machine de matériel

Maison des articles semira

Traitement CNN, nettoyage chimique, revêtement CVD

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