Gan à base de silicium Epitaxy

Semiera Energy Technology Co., Ltd.s est un fournisseur leader de céramique avancée de semi-conducteurs et le seul fabricant en Chine qui peut simultanément fournir une céramique en carbure de silicium à haute pureté (en particulier le revêtement de CVD SIC. De plus, notre entreprise est également attachée dans les champs en céramique tels que l'alumine, le nitrure d'aluminium, la zircone et le nitrure de silicium, etc.

Product Description

Our company provides SiC coating process services by CVD method on the surface of graphite, ceramics and other materials, so that special gases containing carbon and silicon react at high temperature to obtain high purity SiC molecules, molecules deposited on the surface of the coated materials, forming SIC protective layer.

Caractéristiques principales:

1. Résistance à l'oxydation à haute température:

La résistance à l'oxydation est encore très bonne lorsque la température est aussi élevée que 1600 C.

2. High purity : made by chemical vapor deposition under high temperature chlorination condition.

3. Résistance à l'érosion: dureté élevée, surface compacte, particules fines.

4. Résistance à la corrosion: réactifs acide, alcalin, sel et organique.

 

Spécifications principales du revêtement CVD-SIC

Propriétés SIC-CVD

Structure cristalline

FCC β phase

Densité

g/cm ³

3.21

Dureté

Vickers dureté

2500

Taille des grains

μm

2~10

Pureté chimique

%

99.99995

Capacité thermique

J·kg-1 ·K-1

640

Température de sublimation

2700

Résistance aux félexes

MPa  (RT 4-point)

415

Module de jeunes

Gpa (4pt bend, 1300℃)

430

Expansion thermique (CTE)

10-6K-1

4.5

Conductivité thermique

(W / mk)

300

未标题-1

17

211

Lieu de travail Semiera

Semirara Lieu de travail 2

Machine de matériel

Traitement CNN, nettoyage chimique, revêtement CVD

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