En tant que fabricant chinois professionnel, fournisseur et exportateur de revêtement en céramique en carbure de silicium. Le revêtement en céramique en carbure de silicium de Seminera est largement utilisé dans les composants clés de l'équipement de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les processus de traitement tels que la MCV et le PECV. Semicera s'engage à fournir des technologies de pointe et des solutions de produits pour l'industrie des semi-conducteurs et accueille votre nouvelle consultation.
Seminer Revêtement en céramique en carbure de silicium est un revêtement protecteur haute performance en matériau de carbure de silicium (SIC) extrêmement dur et résistant à l'usure. Le revêtement est généralement déposé à la surface du substrat par procédé CVD ou PVD avec particules de carbure de silicium, offrant une excellente résistance à la corrosion chimique et une stabilité à haute température. Par conséquent, le revêtement en céramique en carbure de silicium est largement utilisé dans les composants clés de l'équipement de fabrication de semi-conducteurs.
Dans la fabrication de semi-conducteurs, Revêtement sic peut résister à des températures extrêmement élevées allant jusqu'à 1600 ° C, de sorte que le revêtement en céramique en carbure de silicium est souvent utilisé comme couche protectrice pour l'équipement ou les outils pour prévenir les dommages à des environnements à haute température ou corrosifs.
En même temps, revêtement en céramique en carbure de silicium Peut résister à l'érosion des acides, des alcalis, des oxydes et d'autres réactifs chimiques, et a une forte résistance à la corrosion à une variété de substances chimiques. Par conséquent, ce produit convient à divers environnements corrosifs de l'industrie des semi-conducteurs.
De plus, par rapport à d'autres matériaux en céramique, le SIC a une conductivité thermique plus élevée et peut effectuer efficacement la chaleur. Cette caractéristique détermine que dans les processus semi-conducteurs qui nécessitent un contrôle de température précis, la conductivité thermique élevée de Revêtement en céramique en carbure de silicium Aide à disperser uniformément la chaleur, à prévenir la surchauffe locale et à garantir que l'appareil fonctionne à la température optimale.
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Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC |
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Propriété |
Valeur typique |
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Structure cristalline |
FCC β phase polycristalline, principalement (111) orienté |
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Densité |
3,21 g / cm³ |
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Dureté |
2500 Vickers dureté （charge de 500 g） |
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Taille des grains |
2 ~ 10 mm |
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Pureté chimique |
99.99995% |
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Capacité thermique |
640 J · kg-1·K-1 |
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Température de sublimation |
2700℃ |
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Résistance à la flexion |
415 MPA RT 4 points |
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Module de jeunes |
430 GPA 4pt Bend, 1300℃ |
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Conductivité thermique |
300W · M-1·K-1 |
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Expansion thermique (CTE) |
4,5 × 10-6K-1 |
