Effecteur en céramique en carbure de silicium pour le transfert de plaquettes dans divers processus semi-conducteurs

The silicon carbide mechanical arm is formed by isostatic pressing process and sintered at high temperature. According to the requirements of the user’s design drawings, the outline size, thickness size and shape can be refined to meet the specific requirements of users.

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Caractéristiques et avantages

1. Prociser les dimensions et la stabilité thermique

2. Raideur spécifique élevée et excellente uniformité thermique, l'utilisation à long terme n'est pas facile à plier la déformation;

3. Il a une surface lisse et une bonne résistance à l'usure, manipulant ainsi en toute sécurité la puce sans contamination par les particules.

4.Silicon carbide resistivity in 106-108Ω, non-magnetic, in line with anti-ESD specification requirements; It can prevent the accumulation of static electricity on the surface of the chip

5. Bonne conductivité thermique, coefficient d'extension faible.

 

 

 

 

 

 

Effecteur du bras du robot

 

 

 

 

 

Effecteur final SIC

 

 

 

 

 

 

Comparaison des matériaux en céramique SIC

 

 

 

 

 

 

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