Semicera Semiconductor’s TaC Coated Graphite Guide Ring is engineered for silicon carbide crystal growth, providing exceptional wear resistance and thermal stability. Choose Semicera for reliable and high-performance components.
TaC coated graphite guide rings refer to the deposition of a thin layer of carbure de tantale on the surface of a graphite guide ring to improve its wear resistance, high temperature resistance and chemical stability. This coating is usually formed on the surface of a graphite guide ring by techniques such as physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD).
Semicera propose des revêtements de carbure de tantale (TAC) spécialisés pour divers composants et transporteurs. Le processus de revêtement des semirera permet des revêtements de carbure de tantale (TAC) pour obtenir une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant la qualité du produit des cristaux SIC / GaN et des couches EPI (Suscepteur TAC revêtu de graphite), et prolonger la durée de vie des composants du réacteur clé. L'utilisation du revêtement en carbure de carbure de tantale consiste à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance des cristaux, et Semicera a permis de résoudre la technologie du revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.
After years of development, Semicera has conquered the technology of CVD TaC with the joint efforts of the R&D department. Defects are easy to occur in the growth process of SiC wafers, but after using TaC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
The main features of TaC coated graphite guide rings include:
1. High temperature resistance: TaC coating has excellent high temperature stability and can maintain stability in high temperature environments.
2. Wear resistance: The high hardness of the tantalum carbide thin layer gives the guide ring good wear resistance and extends its service life.
3. Chemical stability: TaC coating has high stability against chemical corrosion, making it suitable for applications in some corrosive media.
4. Reduce friction: TaC coating can effectively reduce the friction between the graphite guide ring and other components and improve the efficiency of mechanical seals.
De plus, les semirera Produits enrobés de TAC présenter une durée de vie plus longue et une plus grande résistance à haute température par rapport à Revêtements sic. Des mesures de laboratoire ont démontré que notre Revêtements de tac Peut régulièrement effectuer à des températures allant jusqu'à 2300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Voici quelques exemples de nos échantillons:
