The Tantalum Carbide Coated Susceptor Support Plate by Semicera is designed for use in silicon carbide epitaxy and crystal growth. It provides stable support in high-temperature, corrosive, or high-pressure environments, essential for these advanced processes. Commonly used in high-pressure reactors, furnace structures, and chemical equipment, it ensures system performance and stability. Semicera’s innovative coating technology guarantees superior quality and reliability for demanding engineering applications.
Tantalum carbide coated susceptor support plate is a susceptor or support structure that is covered with a thin layer of carbure de tantale. This coating can be formed on the susceptor surface by techniques such as physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD), giving the susceptor the superior properties of carbure de tantale.
Semicera propose des revêtements de carbure de tantale (TAC) spécialisés pour divers composants et transporteurs. Le processus de revêtement des semirera permet des revêtements de carbure de tantale (TAC) pour obtenir une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant la qualité du produit des cristaux SIC / GaN et des couches EPI (Suscepteur TAC revêtu de graphite), et prolonger la durée de vie des composants du réacteur clé. L'utilisation du revêtement en carbure de carbure de tantale consiste à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance des cristaux, et Semicera a permis de résoudre la technologie du revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.
After years of development, Semicera has conquered the technology of CVD TaC with the joint efforts of the R&D department. Defects are easy to occur in the growth process of SiC wafers, but after using TaC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
The main features of tantalum carbide coated base support plates include:
1. High temperature stability: Tantalum carbide has excellent high temperature stability, making the coated base support plate suitable for support needs in high temperature working environments.
2. Corrosion resistance: Tantalum carbide coating has good corrosion resistance, can resist chemical corrosion and oxidation, and extend the service life of the base.
3. High hardness and wear resistance: The high hardness of tantalum carbide coating gives the base support plate good wear resistance, which is suitable for occasions requiring high wear resistance.
4. Chemical stability: Tantalum carbide has high stability to a variety of chemical substances, making the coated base support plate perform well in some corrosive environments.
De plus, les semirera Produits enrobés de TAC présenter une durée de vie plus longue et une plus grande résistance à haute température par rapport à Revêtements sic. Des mesures de laboratoire ont démontré que notre Revêtements de tac Peut régulièrement effectuer à des températures allant jusqu'à 2300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Voici quelques exemples de nos échantillons:
