Suscettore del wafer di grafite al rivestimento SIC ad alta temperatura per la crescita epitassiale MOCVD

Applicazioni del prodotto

1. Produzione di semiconduttori

   • Ideale per la deposizione epitassiale di semiconduttori composti GAN, SIC e III-V.

   • Critico per la produzione di LED ad alte prestazioni, dispositivi RF ed elettronica di alimentazione.

2. Ricerca e sviluppo

   • Affidata dei laboratori per studi sui materiali avanzati e prototipi di semiconduttori di prossima generazione.

3. Sistemi MOCVD industriali

   • Compatibile con le principali apparecchiature MOCVD per la produzione di massa di componenti optoelettronici.

Vantaggi chiave

1. Durata senza pari

   • Il rivestimento SIC migliora la resistenza a shock termico, corrosione chimica e usura meccanica, estendendo la durata di servizio di 3x rispetto ai tradizionali suscettori di grafite.

2. Uniformità termica superiore

   • Ingegnerizzato per l'uniformità della temperatura di ± 1,5% attraverso la superficie del wafer, minimizzando i difetti negli strati depositati.

3. Stabilità ad alta temperatura

   • Funziona perfettamente a temperature fino a 1.800 ° C, mantenendo l'integrità strutturale in ambienti MOCVD aggressivi.

4. Efficienza dei costi

   • Riduce i tempi di inattività e i costi di sostituzione grazie alla durata prolungata e alle prestazioni coerenti.

Caratteristiche del prodotto

1. Composizione del materiale premium

   • Combina la grafite isostatica ad alta purezza con un rivestimento SIC denso e privo di difetti per una resistenza termica e chimica ottimale.

2. Design personalizzabili

   • Disponibile in geometrie su misura (ad es. Pancake, verticale, orizzontale) per adattarsi a diverse configurazioni di reattori.

3. Ingegneria di precisione

   • La finitura superficiale ultra liscia (<0,5 µm di RA) garantisce una contaminazione minima delle particelle durante la deposizione.

4. Risposta termica rapida

   • La bassa progettazione di massa termica accelera i cicli di riscaldamento/raffreddamento, aumentando l'efficienza del processo.

Perché scegliere Semicera?

• Competenza del settore: Supportato da oltre 15 anni di esperienza in soluzioni ceramiche avanzate per applicazioni a semiconduttore.

• Garanzia di qualità: Test rigorosi nell'ambito dei protocolli certificati ISO garantiscono la coerenza delle prestazioni.

• Supporto globale: Team tecnico dedicato disponibile per soluzioni personalizzate e consegna rapida.