Semicera offre una gamma completa di suscettori e componenti di grafite progettati per vari reattori epitaxy. Attraverso partenariati strategici con OEM leader del settore, ampie competenze sui materiali e capacità di produzione avanzate, Semicera offre progetti su misura per soddisfare i requisiti specifici dell'applicazione. Il nostro impegno per l'eccellenza ti assicura di ricevere soluzioni ottimali per le esigenze del reattore epitassia.
Our company provides SiC coating process services on the surface of graphite, ceramics and other materials by CVD method, so that special gases containing carbon and silicon can react at high temperature to obtain high-purity Sic molecules, which can be deposited on the surface of coated materials to form a SiC protective layer for epitaxy barrel type hy pnotic.
Caratteristiche principali:
1. Alta purezza SIC con la grafite rivestita
2. Resistenza al calore superiore e uniformità termica
3. Bene Cristallo SIC rivestito Per una superficie liscia
4. alta durata contro la pulizia chimica
Main Specifications of CVD-SIC Coating
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Proprietà SIC-CVD |
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| Struttura cristallina | Fase β FCC | |
| Densità | g/cm ³ | 3.21 |
| Durezza | Vickers Durezza | 2500 |
| Dimensione del grano | µm | 2~10 |
| Purezza chimica | % | 99.99995 |
| Capacità termica | J · kg-1 · k-1 | 640 |
| Temperatura di sublimazione | ℃ | 2700 |
| Forza felexurale | MPA (RT 4-point) | 415 |
| Modulo di Young | GPA (4pt Bend, 1300 ℃) | 430 |
| Espansione termica (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Conducibilità termica | (W/MK) | 300 |
