SiC Coated Susceptor for Deep UV-LED

Semicera Energy Technology Co., Ltd. is a leading supplier of advanced semiconductor ceramics. Our main products include: Silicon carbide etched discs, silicon carbide boat trailers, silicon carbide wafer ships (PV & Semiconductor), silicon carbide furnace tubes, silicon carbide cantilever paddles, silicon carbide chuck, silicon carbide beams, as well as CVD SiC coatings and TaC coatings.The products are mainly used in the semiconductor and photovoltaic industries, such as crystal growth, epitaxy, etching, packaging, coating and diffusion furnace equipment.

Descrizione

La nostra azienda fornisce servizi di processo di rivestimento SIC con metodo CVD sulla superficie di grafite, ceramica e altri materiali, in modo che gas speciali contenenti carbonio e silicio reagiscono ad alta temperatura per ottenere molecole SiC ad alta purezza, molecole depositate sulla superficie dei materiali rivestiti, formando lo strato di protezione SIC.

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Caratteristiche principali

1. High temperature oxidation resistance: the oxidation resistance is still very good when the temperature is as high as 1600 C.
2. High purity : made by chemical vapor deposition under high temperature chlorination condition.
3. Resistenza all'erosione: alta durezza, superficie compatta, particelle fini.
4. Resistenza alla corrosione: acido, alcali, sale e reagenti organici.

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC

Proprietà SIC-CVD
Struttura cristallina Fase β FCC
Densità g/cm ³ 3.21
Durezza Vickers Durezza 2500
Dimensione del grano µm 2~10
Purezza chimica % 99.99995
Capacità termica J · kg-1 · k-1 640
Temperatura di sublimazione 2700
Forza felexurale MPA (RT 4-point) 415
Young’ s Modulus GPA (4pt Bend, 1300 ℃) 430
Espansione termica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conducibilità termica (W/MK) 300

Luogo di lavoro semicera

Semicera lavoro posto 2

Macchina per attrezzature

Elaborazione della CNN, pulizia chimica, rivestimento CVD

Il nostro servizio

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