Buona stabilità a tubo fornace in carburo di silicio resistente ad alta temperatura

Semicera Semiconductor è un fornitore leader specializzato in consumo di wafer e a semiconduttore avanzato. Siamo dedicati a fornire prodotti di alta qualità, affidabili e innovativi alla produzione di semiconduttori, all'industria fotovoltaica e ad altri settori correlati. La nostra linea di prodotti include prodotti di grafite con rivestimento SIC/TAC e prodotti in ceramica, che comprendiamo i materiali di fabbricazione come i processi di produzione in silicio, il silicio di silicio, il nitruro di silicio Fornire prodotti che soddisfino gli standard di altissima qualità per soddisfare le esigenze dei nostri clienti.

Tubi fornace in carburo di silicio (SIC): soluzione avanzata per le industrie fotovoltaiche e semiconduttori

Le provette da forno al silicio in carburo (SIC) sono componenti critici nelle industrie fotovoltaiche e semiconduttori. I tubi del forno in quarzo tradizionali sono efficaci fino a 800 ° C, ma se utilizzati nei processi di diffusione dell'ossidazione che superano 1000 ° C, la loro durata della vita diminuisce drasticamente. Ciò si traduce in stress, deformazione e contaminazione dei wafer dovuti a impurità che si lisciviano dal tubo di quarzo.

Al contrario, i tubi del forno SIC offrono prestazioni e longevità superiori, con numerosi vantaggi:

Vantaggi chiave dei tubi del forno in carburo di silicio

-Stabilità eccezionale ad alta temperatura: I tubi del forno SIC possono resistere a temperature fino a 1700 ° C in aria e fino a 1950 ° C in gas inerte come azoto o argon, esagerando di distanza in tubi di quarzo in applicazioni ad alta temperatura.
-Prestazioni di espansione termica superiore: SIC ha un coefficiente di espansione termica che corrisponde da vicino a quello del silicio amorfo, riducendo significativamente il rischio di cracking o rottura a causa dell'espansione termica, che è comune con i tubi di quarzo.
-Materiali ad alta purezza: Semicera offre tubi SIC con 99.99% PURITÀ, abbinata a Rivestimenti SIC CVD con 99.99998% purezza. Ciò garantisce la protezione dei wafer dalle impurità, eliminando i problemi di contaminazione durante i processi ad alta temperatura.
-Resistenza alla corrosione e all'usura eccezionale: I tubi SIC presentano un'eccellente resistenza alla corrosione e all'usura a temperature elevate, prevenendo potenziali contaminazione e degradazione spesso associati a tubi di quarzo.
-Eccellente resistenza agli shock termici: Con alta conduttività termica e notevole resistenza agli shock termici, i tubi del forno SIC possono gestire rapide variazioni di temperatura, rendendoli altamente durevoli nei processi industriali dinamici.

SIC Tube Sic barca sic paddle_semichera

Applicazioni

I tubi del forno SIC di Semicera sono ampiamente utilizzati come sostituzioni per tubi di quarzo in forni di ossidazione verticale, forni di diffusione e apparecchiature RTP. I nostri prodotti hanno funzionato con successo in più strutture clienti dal 2018, dimostrando le loro eccezionali prestazioni e affidabilità.

Inoltre, Semicera fornisce prodotti SIC ad alta purea abbinati, inclusi Barche sic, Tubi sic, Paddle sic, E Rivestimenti SIC CVD soddisfare le diverse esigenze dei processi ad alta temperatura.

 

Tubo SIC per fornace di diffusione orizzontale verticale_semichera

Perché scegliere i tubi della fornace semicera?

Durata più lunga E prestazioni migliori In condizioni estreme rispetto ai tubi del forno al quarzo.

Contaminazione di impurità ridotta a causa di materiali ad alta purezza.

Alta stabilità termica, anche a temperature fluttuanti.

Prestazioni affidabili e comprovate in settori come la produzione di semiconduttori e la produzione fotovoltaica.

Scegli i tubi del forno SIC di Semicira per una maggiore durata, una manutenzione ridotta e risultati superiori nelle applicazioni ad alta temperatura.

Parametri tecnici

Immagine 1

Luogo di lavoro semicera

Semicera lavoro posto 2

Semicera ware house

Macchina per attrezzature

Elaborazione della CNN, pulizia chimica, rivestimento CVD

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