Semicera Semiconductor is a leading supplier specializing in wafer and advanced semiconductor consumables. We are dedicated to providing high-quality, reliable, and innovative products to semiconductor manufacturing, photovoltaic industry and other related fields.Our product line includes SiC/TaC coated graphite products and ceramic products, encompassing various materials such as silicon carbide, silicon nitride, and aluminum oxide and etc.As a trusted supplier, we understand the importance of consumables in the manufacturing process, and we are committed to delivering products that meet the highest quality standards to fulfill our customers’ needs.
Tubi fornace in carburo di silicio (SIC): soluzione avanzata per le industrie fotovoltaiche e semiconduttori
Silicon carbide (SiC) furnace tubes are critical components in the photovoltaic and semiconductor industries. Traditional quartz furnace tubes are effective up to 800°C, but when used in oxidation diffusion processes that exceed 1000°C, their lifespan dramatically decreases. This results in stress, deformation, and contamination of the wafers due to impurities leaching from the quartz tube.
Al contrario, i tubi del forno SIC offrono prestazioni e longevità superiori, con numerosi vantaggi:
-Stabilità eccezionale ad alta temperatura: SiC furnace tubes can withstand temperatures up to 1700°C in air, and up to 1950°C in inert gases like nitrogen or argon, far outlasting quartz tubes in high-temperature applications.
-Prestazioni di espansione termica superiore: SIC ha un coefficiente di espansione termica che corrisponde da vicino a quello del silicio amorfo, riducendo significativamente il rischio di cracking o rottura a causa dell'espansione termica, che è comune con i tubi di quarzo.
-Materiali ad alta purezza: Semicera offre tubi SIC con 99.99% PURITÀ, abbinata a Rivestimenti SIC CVD con 99.99998% purezza. Ciò garantisce la protezione dei wafer dalle impurità, eliminando i problemi di contaminazione durante i processi ad alta temperatura.
-Resistenza alla corrosione e all'usura eccezionale: I tubi SIC presentano un'eccellente resistenza alla corrosione e all'usura a temperature elevate, prevenendo potenziali contaminazione e degradazione spesso associati a tubi di quarzo.
-Eccellente resistenza agli shock termici: Con alta conduttività termica e notevole resistenza agli shock termici, i tubi del forno SIC possono gestire rapide variazioni di temperatura, rendendoli altamente durevoli nei processi industriali dinamici.
Semicera’s SiC furnace tubes are widely used as replacements for quartz tubes in vertical oxidation furnaces, diffusion furnaces, and RTP equipment. Our products have been successfully operating in multiple client facilities since 2018, demonstrating their exceptional performance and reliability.
Inoltre, Semicera fornisce prodotti SIC ad alta purea abbinati, inclusi Barche sic, Tubi sic, Paddle sic, E Rivestimenti SIC CVD soddisfare le diverse esigenze dei processi ad alta temperatura.
–Durata più lunga E prestazioni migliori In condizioni estreme rispetto ai tubi del forno al quarzo.
–Contaminazione di impurità ridotta a causa di materiali ad alta purezza.
–Alta stabilità termica, anche a temperature fluttuanti.
–Prestazioni affidabili e comprovate in settori come la produzione di semiconduttori e la produzione fotovoltaica.
Choose Semicera’s SiC furnace tubes for enhanced durability, reduced maintenance, and superior results in your high-temperature applications.
